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J-GLOBAL ID：201002272352109471   整理番号：10A0343095

大気圧プラズマ化学液相堆積法によるフッ素ポリマー表面の高密着性銅メタライジング-過酸化物ラジカル基密度とグラフト密度の関係-

著者 (3件)： 秋山弘貢 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  是津信行 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ) ,  山村和也 (大阪大 大学院工学研究科 超精密科学研究セ)
資料名： 精密工学会関西地方定期学術講演会講演論文集  (精密工学会関西地方学術講演会講演論文集)
巻： 2009  ページ： 21-22  発行年： 2009年05月07日 
JST資料番号： L6024A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *溶液成長 ,  *薄膜成長 ,  *大気プラズマ ,  *ポリテトラフルオロエチレン ,  *メタライゼーション ,  *表面加工 ,  密着性 ,  平滑度 ,  ナノ構造 ,  過酸化物 ,  ラジカル ,  結合 ,  接合 ,  *銅 ,  グラフト化【化学修飾】
準シソーラス用語： グラフト化 ,  *化学溶液堆積法

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

タイトルに関連する用語 (11件)： 大気圧プラズマ ,  化学 ,  液相 ,  堆積 ,  フッ素ポリマー ,  密着性 ,  銅 ,  過酸化物 ,  ラジカル ,  密度 ,  グラフト密度