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J-GLOBAL ID：201002272359993636   整理番号：10A0854329

共鳴領域におけるブレーズド多準位格子用の高性能技術

Smart technology for blazed multilevel gratings in resonance domain

著者 (7件)： OLIVA M. (Fraunhofer Inst. Applied Optics & Precision Engineering, Jena, DEU) ,  BENKENSTEIN T. (Fraunhofer Inst. Applied Optics & Precision Engineering, Jena, DEU) ,  DUNKEL J. (Fraunhofer Inst. Applied Optics & Precision Engineering, Jena, DEU) ,  HARZENDORF T. (Fraunhofer Inst. Applied Optics & Precision Engineering, Jena, DEU) ,  MATTHES A. (Fraunhofer Inst. Applied Optics & Precision Engineering, Jena, DEU) ,  MICHAELIS D. (Fraunhofer Inst. Applied Optics & Precision Engineering, Jena, DEU) ,  ZEITNER U. D. (Fraunhofer Inst. Applied Optics & Precision Engineering, Jena, DEU)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 7716  ページ： 77161L.1-77161L.10  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ブレーズド多準位格子は非Littrow取付への応用(分光計やリダイレクション格子など)に最適である。本研究では,一次高効率応用のためのブレーズド多準位格子を設計し作製した。三位相準位格子は負の一次回折次数で90%の効率を得るに十分であった。標準の作製法は融解シリカ基板への多段階電子ビームリソグラフィーと反応性イオンエッチング(RIE)からなる。典型的な製造誤差を避け,多準位製造工程を改善するために,新しい技術手法を検討した。三種類の技術で作製した格子を特性化し,回折性能を論じた。

シソーラス用語： *回折格子 ,  回折効率 ,  *電子ビームリソグラフィー ,  RIE【エッチング】 ,  マイクロマシニング ,  位相格子
準シソーラス用語： *ブレーズド格子

分類 (1件)： 光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (3件)： 共鳴領域 ,  格子 ,  高性能