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J-GLOBAL ID：201002276174831767   整理番号：10A1340849

毛管現象に基づく自己整列に適した2次元接合パターンの設計

著者 (5件)： 志賀昇平 (茨城大 大学院) ,  WANG Dong (茨城大) ,  池原毅 (産業技術総合研) ,  石田敬雄 (産業技術総合研) ,  前田龍太郎 (産業技術総合研)
資料名： 日本機械学会関東支部・精密工学会・茨城大学茨城講演会講演論文集  (日本機械学会関東支部・精密工学会・茨城大学工学部茨城講演会講演論文集)
巻： 18th  ページ： 199-200  発行年： 2010年08月27日 
JST資料番号： X0829A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 自己整列という現象は,部品と基板を使った「毛管現象を用いた自己組織化」の過程で観察することができる。自己整列はAuパターンの上に形成されたSAMが潤滑油を介することで発生し,その動的特性はAuのパターンに依存する。つまり,特殊なAuパターンを用いれば基板上の任意の向きに部品を統合することができる。従って,自己整列において接合パターンを検証し,適したAuパターンを用いて自己整列・自己組織化を行うことはMEMSデバイス製作の一助となりえると言える。(著者抄録)

シソーラス用語： 毛管現象 ,  *自己整合 ,  *自己組織化 ,  接合 ,  金 ,  *MEMS ,  動特性 ,  基板
準シソーラス用語： *自己整列

分類 (1件)： 集積回路一般  (NC03161C)

タイトルに関連する用語 (4件)： 毛管現象 ,  自己整列 ,  2次元 ,  設計