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J-GLOBAL ID：201002280147607011   整理番号：10A1098431

Naドープハイドロキシアパタイト薄膜を用いた湿度センサの特性

Characteristics of a humidity sensor using a Na-doped hydroxyapatite thin film

著者 (4件)： HONTSU Shigeki (Kinki Univ., Wakayama, JPN) ,  NAKAMORI Masaya (Kinki Univ. Technical Coll., Mie, JPN) ,  NISHIKAWA Hiroaki (Kinki Univ., Wakayama, JPN) ,  KUSUNOKI Masanobu (Kinki Univ., Wakayama, JPN)
資料名： Memoirs of the Faculty of Biology-Oriented Science and Technology of Kinki University  (Memoirs of the Faculty of Biology-Oriented Science and Technology of Kinki University)
号： 26  ページ： 87-91  発行年： 2010年09月30日 
JST資料番号： L3951A  ISSN： 1342-7202  CODEN： MSBTFL  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ハイドロキシアパタイト(HAp)は,骨と歯の化学成分であるが,興味深い化学性状を示し,化学センサとして用いられる。今回,NaドープHAp(Na-HAp)の作製と湿度センサとしての特性を検討した。パルスレーザーデポジション(PLD)法により,Na-HAp薄膜を多孔質Al₂O₃基板上に成膜した。薄膜の結晶性と組成は,X線回折(XRD)とエネルギー分散型蛍光X線分析(EDX)により評価した。XRDパターンはHApの標準パターンと一致した。EDXの組成分析は,Ca/P比2.02とCa/Na比9.04を示し,薄膜に0.96mol% Naが存在した。 Na-HAp薄膜状にインターデジタル型の金電極を設けて,湿度センサとした。インピーダンスの湿度による変化と湿度応答性を測定した結果,薄膜センサは,湿度に対して優れた感度と応答性を示した。Na-HAp薄膜は,湿度センサとしてのみならず化学センサとしての応用性を示すと示唆した。

シソーラス用語： ヒドロキシアパタイト ,  薄膜 ,  *湿度センサ ,  パルスレーザ ,  レーザ蒸着 ,  多孔性 ,  基板 ,  酸化アルミニウム ,  結晶度 ,  X線回折 ,  エネルギー分散蛍光X線分析 ,  金電極 ,  インピーダンス ,  化学センサ ,  *計測 ,  燐灰石 ,  パルスレーザ蒸着 ,  歯科用材料
準シソーラス用語： PLD【蒸着】 ,  *湿度測定

分類 (2件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  湿度測定,湿度計  (AD06020V)

タイトルに関連する用語 (3件)： Na ,  薄膜 ,  湿度センサ