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J-GLOBAL ID：201002280404651256   整理番号：10A0486137

非補償探針によるプラズマ電位波形の測定

Measurement of plasma potential waveforms by an uncompensated probe

著者 (1件)： DVORAK P (Masaryk Univ., Brno, CZE)
資料名： Plasma Sources Science and Technology  (Plasma Sources Science and Technology)
巻： 19  号： 2  ページ： 025014,1-6  発行年： 2010年04月 
JST資料番号： W0479A  ISSN： 0963-0252  CODEN： PSTEEU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 窒素容量結合放電で,非補償探針の回りのシースの非線形応答を計算した。シースの複雑な特性を考慮した非補償探針によるプラズマ電位波形の評価法を述べた。高インピーダンス探針またはアクティブ補償を用いる必要は無かった。低インピーダンス末尾の非補償探針を解析した。探針で測定した波形は放電電流と強い相関を示した。

シソーラス用語： *プラズマ診断 ,  *プラズマ探針 ,  プラズマさや ,  窒素 ,  高周波放電 ,  プラズマ ,  プラズマパラメータ ,  波形 ,  *波形測定
準シソーラス用語： プラズマ電位 ,  電位波形 ,  *非補償探針 ,  放電プラズマ ,  容量結合放電 ,  放電電流

分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (4件)： 補償 ,  探針 ,  プラズマ電位 ,  波形