RFスパッタリングによって調製した高分子薄膜を有する水晶マイクロバランスを用いる原子状酸素センシング

MATSUMOTO Hiroyuki; MATSUOKA Mikihiko; IWAMORI Satoru; NODA Kazutoshi

文献

J-GLOBAL ID：201002281696946592 整理番号：10A0260871

RFスパッタリングによって調製した高分子薄膜を有する水晶マイクロバランスを用いる原子状酸素センシング

Atomic Oxygen Sensing Using a Quartz Crystal Microbalance with a Polymer Thin Film Prepared by RF Sputtering

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著者 (4件)： , , ,
資料名：
巻： 22 号： 2 ページ： 61-70 発行年： 2010年
JST資料番号： L0338A ISSN： 0914-4935 CODEN： SENMER 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

水晶上でポリイミドターゲットを用いてスパッタした高分子薄膜を,活性酸素センサへの応用に関してそれらの適合性を測定するために検討した。誘導結合プラズマ(ICP)のもとで発生した活性酸素,特に6.93×10¹³atoms/cm²/sのフラックスをもつ原子状酸素は高分子によって被覆された水晶ミクロ天秤(QCM)を用いた周波数シフトから首尾よく検出された。高分子表面と原子状酸素の間の反応メカニズムを検討するために,X線光電子分光法(ESCA)によって化学結合を,原子間力顕微鏡(AFM)によって表面モルホロジーを調べた。また,スパッタコート高分子をそれらの感知特性の観点からスピンコート高分子と比較もした。スパッタコート高分子QCMは原子状酸素検知に大きなポテンシャルを持っていることがわかった。(翻訳著者抄録)

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計測機器一般 , その他の高分子材料

引用文献 (15件)：

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