抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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電極間に微細ガス流を導入する大気圧マイクロプラズマを中心に,プラズマ生成条件やプラズマの基礎特性などに関する研究成果について報告した。最初に,気体プラズマに関し,大気圧直流グロー・マイクロプラズマ,大気圧直流コロナ・マイクロプラズマ,交差ガス流を用いた直流グロー・マイクロプラズマ,高速パルス・グロー・マイクロプラズマの微細ガス流使用大気圧マイクロプラズマの研究成果を要約した。次いで,液体が介在するプラズマに関し,液滴・液体フィラメントを用いたマイクロプラズマ,液体電極と微細ガス流を用いたマイクロプラズマについての研究成果について記述した。