文献

J-GLOBAL ID：201002286520813490   整理番号：10A0843393

可視化観察による熱インプリントプロセスの特徴把握と実験的考察

Experimental Analysis and Characterization on Thermal Imprint Process via In-situ Observation

著者 (3件)： 齊藤卓志 (東京工業大学) ,  川口達也 (東京工業大学) ,  佐藤勲 (東京工業大学)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 130  号： 8  ページ： 356-362 (J-STAGE)  発行年： 2010年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本稿では,熱インプリントプロセスを実時間で観察する装置を製作し,熱可塑性樹脂の転写から離型に至る状況を顕微鏡下で観察した。その結果,通常採用されるプロセス条件では,温度を上昇させた方が圧力を増加するよりも転写時間の短縮につながることを示した。また,今回の材料組み合わせ(シリコン製スタンプとPMMA)では,約200°Cを上回ると転写挙動が大きく変化することがわかった。さらに,スタンプと樹脂材料の熱収縮差で生じる剥離現象を観察し,成形品の最終的な収縮量の大部分は,材料温度がガラス転移点に至ってから後の収縮量の差によることを指摘した。

シソーラス用語： *可視化 ,  *押付成形 ,  *リソグラフィー ,  *熱可塑性プラスチック ,  *その場観察 ,  *転写 ,  *パターン形成 ,  ナノ構造 ,  大量生産 ,  実時間処理 ,  ポリメタクリル酸メチル ,  示差走査熱量測定 ,  剥離 ,  充填 ,  ケイ素 ,  基板 ,  粘着力 ,  熱収縮 ,  ガラス転移点
準シソーラス用語： 熱可塑性樹脂

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (17件)：

• 松井真二. ナノインプリントの開発と応用. 2005
• 谷口淳. はじめてのナノインプリント技術. 2005
• 平井義彦編集. ナノインプリントの基礎と技術開発・応用展開. 2006
• CHOU, S. Y. Imprint of Sub-25 nm vias and Trenches in Polymers. Applied Physics Letters. 1995, 67, 3114-3116
• SCHIFTA, H. Nanostructuring of Polymers and Fabrication of Interdigitated Electrodes by Hot Embossing Lithography. Microelectronic Engineering. 1999, 46, 1-4, 121-124

タイトルに関連する用語 (6件)： 可視化 ,  観察 ,  熱インプリント ,  プロセス ,  把握 ,  実験