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J-GLOBAL ID：201002287232204060   整理番号：10A0596910

電子線トモグラフィーによる格子欠陥の3次元可視化

著者 (9件)： 波多聰 (九大 大学院総合理工学研究院) ,  光原昌寿 (九大 大学院総合理工学研究院) ,  田中將己 (九大 大学院工学研究院) ,  宮崎裕也 (メルビル) ,  池田賢一 (九大 大学院総合理工学研究院) ,  金子賢治 (九大 大学院工学研究院) ,  中島英治 (九大 大学院総合理工学研究院) ,  東田賢二 (九大 大学院工学研究院) ,  松村晶 (九大 大学院工学研究院)
資料名： まてりあ  (Materia Japan)
巻： 49  号： 6  ページ： 274-279  発行年： 2010年06月01日 
JST資料番号： F0163A  ISSN： 1340-2625  CODEN： MTERE2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 先端的電子顕微鏡法の一つである電子線トモグラフィーを格子欠陥,特に,転位の3次元観察に応用した研究成果を紹介した。格子欠陥の連続傾斜像の取得方法は電子線トモグラフィーで試料を少しずつ傾斜しながら同一視野で何枚もの像を撮影する。転位組織の三次元可視化の先行技術にはイギリスでのGaNの観察がある。3次元画像の質の向上に成功している転位(線状格子欠陥)の電子線トモグラフィー観察について述べた。α鉄とオーステナイト系ステンレス鋼の事例でもって電子線トモグラフィーとTEM回折コントラスト,格子欠陥の連続傾斜像の取得方法も解説した。電子線トモグラフィーは薄膜試料であることによる3次元情報量の少なさが難点である。転位のような線状欠陥であれば,3次元空間上での位置を決めるのに少ない枚数の連続傾斜像で済む。

シソーラス用語： *格子欠陥 ,  *トモグラフィー ,  可視化 ,  X線CT ,  透過型電子顕微鏡 ,  立体画像 ,  転位【結晶】 ,  コントラスト ,  薄膜 ,  その場観察 ,  塑性変形 ,  オーステナイト系ステンレス鋼 ,  α鉄【金属】 ,  窒化ガリウム ,  透過型走査電子顕微鏡
準シソーラス用語： 三次元可視化 ,  三次元画像 ,  *電子線トモグラフィー

分類 (2件)： 格子欠陥の観察・実験技術  (BK12020U) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

引用文献 (23件)：

• (1) 伊野家浩司,金子賢治,堀田善治:まてりあ,45(2006), 598-604.
• (2) P. A. Midgley and M. Weyland: Ultramicrosc., 96(2003), 413.
• (3) K. Kimura, S. Hata, S. Matsumura and T. Horiuchi: J. Electron Microsc., 54(2005), 373.
• (4) M. Tanaka, K. Higashida, K. Kaneko, S. Hata and M. Mitsuhara: Scripta Mater., 59(2008), 901.
• (5) M. Tanaka, M. Honda, M. Mitsuhara, S. Hata, K. Kaneko and K. Higashida: Mater. Trans., 49(2008), 1953-1956.

タイトルに関連する用語 (3件)： 電子線トモグラフィー ,  格子欠陥 ,  3次元可視化