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J-GLOBAL ID：201002289419104674   整理番号：10A0379310

圧電薄膜要素の多段直列接続によるセンサ出力電圧の増倍

Multiplication of Sensor Output Voltage Using Series-Connected Piezoelectric Elements

著者 (6件)： 神田健介 (独立行政法人 科学技術振興機構) ,  伊賀友樹 (兵庫県立大学) ,  松岡潤弥 (ヤマハ(株)) ,  藤田孝之 (兵庫県立大学) ,  樋口行平 (独立行政法人 科学技術振興機構) ,  前中一介 (兵庫県立大学)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 130  号： 4  ページ： 124-129 (J-STAGE)  発行年： 2010年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)のような圧電材料は,受けた応力に対して電荷を生じるため,直接電圧を得ることができ,MEMSセンサへの応用が期待される。PZT要素の直列接続によりセンサ出力が像倍することを検証するために,その出力特性に寄生容量が及ぼす影響について評価を行うことで,PZT直列要素に対する出力電圧特性の改善を行った。圧電膜の変形に対して大きな出力電圧を得るために,圧電薄膜を分割・直列接続させたデバイスを提案し,出力電圧が像倍可能であることを検証した。

シソーラス用語： ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  圧電体 ,  誘電体薄膜 ,  直列接続 ,  *圧電センサ ,  漂遊容量 ,  SPICEプログラム ,  酸化膜 ,  *圧電素子 ,  *センサ ,  化成皮膜
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】 ,  圧電薄膜 ,  出力電圧

分類 (2件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

引用文献 (15件)：

• (1) W.-Y. Chang, T.-H. Fang, and Y.-C. Lin : “Characterization and fabrication of wireless flexible physiological monitor sensor”, Sensors and Actuators A, Vol. 143, pp. 196-203 (2008)
• (2) T. Itoh, T. Kobayashi, H. Okada, T. Masuda, and T. Suga : “A digital output piezoelectric accelerometer for ultra-low power wireless sensor node”, Proc. IEEE Sensors 2008 Conference, pp. 542-545 (2008)
• (3) 藤田孝之・柾木健太郎・前中一介:「MEMSセンサを用いた宅配便輸送環境モニタシステム」,電学論E, 127, 11, pp. 472-477 (2007-11)
• (4) P. S. Pandian, K. Mohanavelu, K. P. Safeer, T. M. Kotresh, D. T. Shakunthala, P. Gopal, and V. C. Padaki : “Smart Vest: Wearable multi-parameter remote physiological monitoring system”, Medical Engineering & Physics, Vol. 30, pp. 466-477 (2008)
• (5) S. Choi and Z. Jiang : “A novel wearable sensor device with conductive fabric and PVDF film for monitoring cardiorespiratory signals”, Sensors and Actuators A, Vol. 128, pp. 317-326 (2006)

タイトルに関連する用語 (5件)： 圧電薄膜 ,  要素 ,  多段 ,  直列接続 ,  出力電圧