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J-GLOBAL ID：201002296477065324   整理番号：10A0445302

プラズマ技術の新しい挑戦 新しいプラズマ源が新しいプラズマ応用を拓く

著者 (1件)： 藤山寛 (長崎大 大学院生産科学研究科)
資料名： 化学工業  (Chemical Industry)
巻： 61  号： 5  ページ： 355-361  発行年： 2010年05月01日 
JST資料番号： F0101A  ISSN： 0451-2014  CODEN： KAKOA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 「磁化プラズマプロセシング」に関する研究の打ち,特に放電・プラズマ物理の観点から興味ある,マグネトロンプラズマ,電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマ,及び走査プラズマを用いたプラズマプロセシングに関して,下記事項などについて紹介した。1)各種プラズマの主な特徴(材料プロセス用プラズマ,核融合プラズマ,天体プラズマ,電磁流体的プラズマ),2)マグネトロン放電プラズマ,3)電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマと2nd Harmonic ERCプラズマ,4)新しいプラズマ源の新しいプロセスへの応用,5)マグネトロンパルスプラズマによる細管内壁コーティング,6)2nd Harmonic ERCプラズマによる細管内壁コーティング,7)走査プラズマによるダストフリー大面積均一プラズマCVD。

シソーラス用語： *磁化プラズマ ,  *プラズマ処理 ,  *プラズマ源 ,  *プラズマ応用 ,  プラズマ ,  マグネトロン ,  *ECRプラズマ ,  走査装置 ,  核融合材料 ,  電磁流体 ,  微小管 ,  内壁 ,  被覆 ,  *プラズマCVD
準シソーラス用語： *プラズマプロセシング ,  *電子サイクロトロン共鳴プラズマ ,  被覆加工 ,  放電プラズマ

分類 (2件)： プラズマ装置  (BJ02082I) ,  プラズマ応用  (BJ02110K)

タイトルに関連する用語 (3件)： プラズマ ,  プラズマ源 ,  プラズマ応用