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J-GLOBAL ID：201002299300956260   整理番号：10A0565071

真空中へのレーザアブレーションスズプラズマの構造及び膨張特性

Structure and Expansion Characteristics of Laser Ablation Tin Plasma into a Vacuum

著者 (8件)： ZHU Qiushi (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  YAMADA Junzaburo (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  KISHI Nozomu (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  HOSOKAI Tomonao (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  WATANABE Masato (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  OKINO Akitoshi (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  HORIOKA Kazuhiko (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  HOTTA Eiki (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 49  号： 5,Issue 1  ページ： 056201.1-056201.6  発行年： 2010年05月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 真空中へのレーザアブレーションスズプラズマの内部構造及び膨張特性を研究した。スズバルクターゲット上の焦点スポットに10¹¹W/cm²の電力密度をもつQ-スイッチNd:YAGレーザを使用して,アブレーションプラズマを生成した。飛行時間測定から計算したイオン速度分布は,多重モード構造を示した:シフトMaxwell-Boltzmannフィッティングは,多重荷電状態をもつイオンがアブレーションプラズマプルームに存在することを示し,Knudsen層の温度は,レーザエネルギー77及び129mJに対して,それぞれ,~4.0×10⁵及び~8.3×10⁵Kであることが推定された。粒子加速機構を,Sn I及びSn II プラズマプルームの時間分解二次元画像に従って議論した。Knudsen層の形成による不安定な断熱膨張が,Sn Iの膨張挙動を支配することが分かった。Knudsen層温度は,計算により,Sn Iプルームの前面端速度にしたがって,6.68×10⁵であった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマ ,  *スズ ,  *レーザアブレーション ,  *内部構造 ,  *膨張 ,  Nd-YAGレーザ ,  速度 ,  Maxwell方程式 ,  プルーム ,  断熱膨張
準シソーラス用語： 飛行時間 ,  イオン速度 ,  Knudsenセル ,  粒子加速 ,  二次元画像

分類 (2件)： 固体-プラズマ相互作用  (BJ02033W) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S)

引用文献 (23件)：

• P. J. Silverman: J. Microlithogr. Microfabr. Microsyst.4(2005)011006.
• T. Yokoyama, H. Mizokoshi, Y. Teramoto, D. Yamatani, H. Sato, and K. Hotta: presented at Int. Symp. Extreme Ultraviolet Lithography, 2008,
• E. Hotta, N. Kishi, J. Yamada, Q. Zhu, T. Hosokai, M. Watanabe, and A. Okino: presented at Int. Symp. Extreme Ultraviolet Lithography, 2008.
• V. Bakshi: EUV Sources fdr Lithography (SPIE Press, Bellingham, WA, 2008) Chap. 1, p. 3.
• J. Pankert, R. Apetz, K. Bergmann, G. Derra, M. Janssen, J. Jonkers, J. Klein, T. Kruecken, A. List, M. Loeken, C. Metzmacher, W. Neff, S. Probst, R. Prummer, O. Rosier, S. Seiwert, O. Siemons, D. Vaudrevange, D. Wagemann, A. Weber, P. Zink, and O. Zitzen: Proc. SPIE 5751(2005)260.

タイトルに関連する用語 (1件)： 膨張