特許
J-GLOBAL ID:201003000124707729

ペリクル用粘着材組成物

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-121095
公開番号(公開出願番号):特開2010-002895
出願日: 2009年05月19日
公開日(公表日): 2010年01月07日
要約:
【課題】クロム薄膜表面と石英表面との双方の基材に対して適切な付着力を有し、剥離時に基材表面に残りにくいペリクル用粘着材組成物を提供する。【解決手段】(メタ)アクリル酸アルキルエステル共重合体100重量部と多官能性エポキシ化合物0.005〜3重量部との反応生成物を含んでなる組成物であって、該(メタ)アクリル酸アルキルエステル共重合体が、炭素数4〜14のアルキル基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステルと、エポキシ基との反応性を有する官能基を有するモノマーとの少なくとも2つのモノマー成分を共重合させることによって得られる共重合体であることを特徴とするペリクル用粘着材組成物。【選択図】なし
請求項(抜粋):
(メタ)アクリル酸アルキルエステル共重合体100重量部と多官能性エポキシ化合物0.005〜3重量部との反応生成物を含んでなる組成物であって、該(メタ)アクリル酸アルキルエステル共重合体が、炭素数4〜14のアルキル基を有する(メタ)アクリル酸アルキルエステルと、エポキシ基との反応性を有する官能基を有するモノマーとの少なくとも2つのモノマー成分を共重合させることによって得られる共重合体であることを特徴とするペリクル用粘着材組成物。
IPC (2件):
G03F 1/14 ,  C09J 163/00
FI (2件):
G03F1/14 J ,  C09J163/00
Fターム (22件):
2H095BC37 ,  2H095BC39 ,  4J002BG071 ,  4J002FD341 ,  4J002GJ01 ,  4J002GQ05 ,  4J002GR00 ,  4J002GT00 ,  4J040DF021 ,  4J040EC002 ,  4J040EC162 ,  4J040EC332 ,  4J040GA05 ,  4J040GA07 ,  4J040JB09 ,  4J040KA16 ,  4J040LA06 ,  4J040MA02 ,  4J040MA05 ,  4J040NA20 ,  4J040PA20 ,  4J040PA42
引用特許:
審査官引用 (3件)

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