特許
J-GLOBAL ID:201003000565645842
ソーワイヤおよびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
保坂 俊
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-309185
公開番号(公開出願番号):特開2010-131698
出願日: 2008年12月04日
公開日(公表日): 2010年06月17日
要約:
【課題】シリコンインゴットなどの切断において、切断能力・切断効率が高く、繰り返し寿命(疲労寿命)の長いソーワイヤを提供すること。【解決手段】本発明のソーワイヤは、ワイヤの外周にゲル状の糊状物質を均一に塗布した後に、ダイヤモンド砥粒、ろう材、および水素化チタン(TiH2)を含む混粒を前記糊状物質に均一に付着させ、その後で、焼結(加熱処理)させることにより、前記糊状物質を蒸発させ、前記ろう材による金属層を前記ワイヤ外周に形成して前記ダイヤモンド砥粒を前記ワイヤに付着固化する。糊状物質としてキサンタンガム等、ろう材に19〜10wt%Snを含むCu-Sn合金を使用する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
ワイヤの外周にゲル状の糊状物質を均一に塗布した後に、ダイヤモンド砥粒、ろう材、および水素化チタンを含む混粒を前記糊状物質に均一に付着させ、その後で、焼結させることにより、前記糊状物質は蒸発し、前記ろう材による金属層を前記ワイヤ外周に形成して前記ダイヤモンド砥粒を前記ワイヤに付着固化したことを特徴とする固定砥粒式ソーワイヤであって、前記ろう材は19重量%〜10重量%の錫(Sn)を含む銅錫(Cu-Sn)合金(青銅)であることを特徴とする、固定砥粒式ソーワイヤ。
IPC (4件):
B24D 11/00
, B24B 27/06
, B24D 3/00
, B24D 3/06
FI (5件):
B24D11/00 G
, B24B27/06 H
, B24D11/00 Q
, B24D3/00 320B
, B24D3/06 C
Fターム (18件):
3C058AA05
, 3C058AA09
, 3C058CA05
, 3C058CB03
, 3C058CB05
, 3C058CB10
, 3C058DA03
, 3C063AA08
, 3C063AB09
, 3C063BA16
, 3C063BB02
, 3C063BC02
, 3C063CC02
, 3C063CC09
, 3C063CC16
, 3C063CC30
, 3C063EE10
, 3C063EE31
引用特許: