特許

J-GLOBAL ID：201003002827911355

弾性波デバイス、デュープレクサ、通信モジュール、通信装置、弾性波デバイスの製造方法

発明者： 三浦 道雄 ,  藁科 卓 ,  松田 隆志 ,  井上 将吾 ,  井上 和則 ,  松田 聡
出願人/特許権者： 太陽誘電株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-046294
公開番号（公開出願番号）：特開2010-206246
出願日： 2009年02月27日
公開日（公表日）： 2010年09月16日
要約：

【課題】完成品に近い状態で電気機械結合係数k2や周波数特性などを調整可能とし、デバイスの製造歩留まりを向上させることができ、より低コストの弾性波デバイスを実現することができる。【解決手段】圧電基板1と、圧電基板1上に配された櫛形電極2と、櫛形電極2間に配された第1の誘電体膜4と、櫛形電極2と第1の誘電体膜4を覆う第2の誘電体膜5とを備える弾性波デバイスであって、第1の誘電体膜4上に調整膜6を備え、調整膜6は第1の誘電体膜4及び第2の誘電体膜5に対して比重が大きい材料で形成されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

圧電基板と、 前記圧電基板上に配された櫛形電極と、 前記櫛形電極間に配された第1の誘電体膜と、 前記櫛形電極と前記第1の誘電体膜を覆う第2の誘電体膜とを備える弾性波デバイスであって、 前記第1の誘電体膜上に調整膜を備え、 前記調整膜は、前記第1の誘電体膜及び前記第2の誘電体膜に対して比重が大きい材料で形成されている、弾性波デバイス。

IPC (4件)：

H03H 9/145 ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/25 ,  H03H 9/64

FI (4件)：

H03H9/145 C ,  H03H3/08 ,  H03H9/25 Z ,  H03H9/64 Z

Fターム (14件)：

5J097AA06 ,  5J097AA13 ,  5J097BB02 ,  5J097BB15 ,  5J097DD29 ,  5J097FF04 ,  5J097FF05 ,  5J097GG07 ,  5J097HA02 ,  5J097HA07 ,  5J097HA09 ,  5J097HB08 ,  5J097KK05 ,  5J097KK09

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 弾性表面波装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-056377   出願人：株式会社村田製作所
• 弾性表面波装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-073854   出願人：株式会社村田製作所
• 弾性表面波装置及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-041480   出願人：株式会社村田製作所