特許
J-GLOBAL ID：201003003441065456
赤外線固体撮像素子
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
吉武 賢次
, 佐藤 泰和
, 吉元 弘
, 川崎 康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-060843
公開番号（公開出願番号）：特開2010-216833
出願日： 2009年03月13日
公開日（公表日）： 2010年09月30日
要約：
【課題】信号の読み出し時のノイズを可及的に少なくすることのできる赤外線固体撮像素子を提供することを可能にする。【解決手段】入射赤外線を検出する複数の赤外線検出画素がマトリクス状に配列された有感度画素領域と、複数の参照画素が設けられる参照画素領域と、を備えている。各赤外線検出画素は前記入射赤外線を吸収して熱に変換する赤外線吸収膜と、この赤外線吸収膜によって変換された熱を電気信号に変換する第1熱電変換素子と、を有する熱電変換部を有し、各参照画素は、第2熱電変換素子を有し、参照画素のそれぞれの一端が共通の参照電位線に接続され、赤外線検出画素からの信号線を介して読み出された信号電位と、参照電位線からの参照電位との差を増幅して出力する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
半導体基板と、
前記半導体基板上に、入射赤外線を検出する複数の赤外線検出画素がマトリクス状に配列された有感度画素領域と、複数の参照画素が設けられる参照画素領域と、を備える撮像領域であって、各赤外線検出画素は前記入射赤外線を吸収して熱に変換する赤外線吸収膜と、この赤外線吸収膜によって変換された熱を電気信号に変換する第1熱電変換素子と、を有する熱電変換部を有し、各参照画素は、第2熱電変換素子を有している、撮像領域と、
前記撮像領域内に、前記赤外線検出画素の各行に対応して設けられ、それぞれが対応する行の赤外線検出画素の前記第1熱電変換素子の一端に接続されて前記対応する行の赤外線検出画素を選択する、複数の行選択線と、
前記撮像領域内に、前記赤外線検出画素の各列に対応して設けられ、それぞれが対応する列の赤外線検出画素の前記第1熱電変換素子の他端に接続されて前記対応する列の赤外線検出画素からの電気信号を信号電位として読み出すための複数の信号線と、
前記複数の参照画素のそれぞれの前記第2熱電変換素子の一端が接続される参照電位線と、
前記複数の参照画素のそれぞれに対応して設けられた複数の定電流源であって、各定電流源は、対応する参照画素の前記第2熱電変換素子の他端に接続される、複数の定電流源と、
各信号線に対応して設けられた複数の増幅器であって、各増幅器は対応する信号線から読み出された前記信号電位と、前記参照電位線からの参照電位との差を増幅する複数の増幅器と、
を備えていることを特徴とする赤外線固体撮像素子。
IPC (4件)：
G01J 1/02
, G01J 5/48
, H04N 5/335
, H04N 5/33
G01J1/02 C
, G01J5/48 E
, G01J1/02 Q
, H04N5/335 E
, H04N5/33
2G065AA11
, 2G065AB02
, 2G065BA12
, 2G065BA34
, 2G065BC02
, 2G065BC03
, 2G065BC12
, 2G065BC16
, 2G065BE08
, 2G065CA12
, 2G065DA18
, 2G066AC13
, 2G066AC14
, 2G066BA09
, 2G066BB07
, 2G066BC11
, 2G066CA02
, 5C024AX06
, 5C024CX03
, 5C024GY31
, 5C024HX29
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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