超純水製造設備及び超純水のモニタリング方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：重野剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-086344
公開番号（公開出願番号）：特開2010-234299
出願日： 2009年03月31日
公開日（公表日）： 2010年10月21日
要約：

【課題】複数の計器で超純水の水質を測定してモニタリングする場合に必要とされるモニタリング水量を低減することにより超純水製造装置の規模を抑え、これにより装置コストの低減を図る。【解決手段】超純水製造装置からユースポイントに送給される超純水の一部を分取して水質をモニタリングするに当たり、異種の水質測定計器を直列に2段以上連結してなるモニタリング装置に通水して水質をモニタリングする。直列に2段以上に連結された異種の水質測定計器に、超純水製造装置からユースポイントへの給水配管から分取した超純水を直列に通水するため、これらの計器における水質測定に必要なモニタリング水を共通とすることで、モニタリング水量の低減を図り、この結果、超純水製造装置の規模を抑えて装置コストの低減を図ることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

超純水製造装置と、該超純水製造装置で製造された超純水をユースポイントに送給する給水配管と、該給水配管から分取した超純水の水質をモニタリングするモニタリング装置とを備える超純水製造設備において、該モニタリング装置は、直列に2段以上連結された異種の水質測定計器を有することを特徴とする超純水製造設備。

IPC (1件)：

C02F 1/00

FI (2件)：

C02F1/00 T , C02F1/00 V

引用特許：

審査官引用 (5件)

純水中の不純物測定方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-239612 出願人：株式会社日立製作所
造水機構
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-097903 出願人：株式会社ティ・アンド・シー・テクニカル
超純水製造システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-238554 出願人：三菱化学株式会社

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