特許

J-GLOBAL ID：201003004226567080

吸着搬送部材およびこれを用いた基板搬送装置

発明者： 関口 敬一
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-041988
公開番号（公開出願番号）：特開2010-194668
出願日： 2009年02月25日
公開日（公表日）： 2010年09月09日
要約：

【課題】 基板を吸着して搬送する際に基板にパーティクルが付着しにくい吸着搬送部材およびこれを用いた基板搬送装置ならびにこの基板搬送装置を用いた基板処理装置および基板検査装置を提供する。 【解決手段】 先端側が二股に分岐した、支持部側から先端側に向けて長い板状体7に、板状体7の先端部の各表面の少なくとも2カ所に設けられた、気体を吸引して基板を吸着するための吸着部3と、分岐部を通って先端部の吸着部3同士をつなぐ先端側吸引路4aと、支持部に設けられた、分岐部における先端側吸引路4aに支持部側吸引路4bを介してつながって気体を吸引するための吸引部5とを備え、先端側吸引路4aが、先端部側で直線状であり、分岐部側で湾曲している吸着搬送部材1において、先端側吸引路4aの板状体7の長手方向における長さは、湾曲している部分の方が直線状の部分よりも長い吸着搬送部材1である。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

先端側が二股に分岐した、支持部側から先端側に向けて長い板状体に、該板状体の先端部および分岐部の各表面の少なくとも3カ所に設けられた、気体を吸引して基板を吸着するための吸着部と、前記分岐部の吸着部と前記先端部の吸着部とをつなぐ先端側吸引路と、前記支持部に設けられた、前記分岐部の吸着部に支持部側吸引路を介してつながって気体を吸引するための吸引部とを備え、前記先端側吸引路が、前記先端部側で直線状であり、前記分岐部側で湾曲している吸着搬送部材において、前記先端側吸引路の前記板状体の長手方向における長さは、湾曲している部分の方が直線状の部分よりも長いことを特徴とする吸着搬送部材。

IPC (4件)：

B25J 15/06 ,  H01L 21/677 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07

FI (4件)：

B25J15/06 G ,  H01L21/68 B ,  B65G49/06 A ,  B65G49/07 G

Fターム (39件)：

3C007ES17 ,  3C007FS01 ,  3C007FT10 ,  3C007FT11 ,  3C007NS12 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA02 ,  5F031GA05 ,  5F031GA08 ,  5F031GA33 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031HA13 ,  5F031HA59 ,  5F031JA03 ,  5F031JA15 ,  5F031JA28 ,  5F031JA35 ,  5F031KA08 ,  5F031KA10 ,  5F031KA14 ,  5F031MA09 ,  5F031MA13 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031MA33 ,  5F031NA13 ,  5F031PA23

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-168141   出願人：東京エレクトロン株式会社, テル・バリアン株式会社
• 基板移送装置及び基板移送方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-001485   出願人：ローム株式会社