特許
J-GLOBAL ID：201003006883843660

感光性エレメント、並びにこれを用いたレジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法

発明者：
久保田 雅夫

久保田 雅夫 について

, 
磯 純一

磯 純一 について


出願人/特許権者：
日立化成工業株式会社

日立化成工業株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-062855
公開番号（公開出願番号）：特開2010-217399
出願日： 2009年03月16日
公開日（公表日）： 2010年09月30日
要約：
【課題】 直接描画露光においても高感度であり、レジストパターンの欠陥が少なく、解像度及び密着性がいずれも良好である感光性エレメント及びこれを用いたレジストパターンの形成方法、プリント配線板の製造方法を提供する。【解決手段】 支持フィルムと、該支持フィルム上に形成された感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層と、を備える感光性エレメントであって、前記支持フィルムのヘーズが0.01〜2.0%であり、該支持フィルム中に含まれる直径5μm以上の粒子及び直径5μm以上の凝集物の総数が5個/mm2以下であり、前記感光性樹脂組成物層が、(A)バインダーポリマー、(B)エチレン性不飽和結合を少なくとも1つ有する光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であり、前記(C)光重合開始剤が、(C1)アクリジニル基を2つ有するアクリジン化合物を含む感光性エレメント。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
支持フィルムと、該支持フィルム上に形成された感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層と、を備える感光性エレメントであって、 前記支持フィルムのヘーズが、0.01〜2.0%であり、該支持フィルム中に含まれる直径5μm以上の粒子及び直径5μm以上の凝集物の総数が5個/mm2以下であり、 前記感光性樹脂組成物層が、(A)バインダーポリマー、(B)エチレン性不飽和結合を少なくとも1つ有する光重合性化合物及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であり、 前記(C)光重合開始剤が、(C1)アクリジニル基を2つ有するアクリジン化合物を含む感光性エレメント。
IPC (9件)：
G03F 7/09 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/031 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18 ,  C08F 2/48 ,  C08F 2/44
FI (10件)：
G03F7/09 501 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/027 502 ,  G03F7/027 511 ,  G03F7/033 ,  G03F7/031 ,  H05K3/06 J ,  H05K3/18 D ,  C08F2/48 ,  C08F2/44 C
Fターム (47件)：
2H125AC21 ,  2H125AC32 ,  2H125AM13P ,  2H125AM22P ,  2H125AM32P ,  2H125AN12P ,  2H125AN47P ,  2H125AN82P ,  2H125BA02P ,  2H125BA09P ,  2H125BA17P ,  2H125CA13 ,  2H125CB03 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  2H125CD24N ,  2H125CD29N ,  4J011AA05 ,  4J011PA65 ,  4J011PA69 ,  4J011PB40 ,  4J011PC02 ,  4J011PC08 ,  4J011QA03 ,  4J011QA13 ,  4J011QA18 ,  4J011QB16 ,  4J011RA03 ,  4J011SA78 ,  4J011UA01 ,  4J011UA02 ,  4J011WA01 ,  5E339CC01 ,  5E339CD01 ,  5E339CE11 ,  5E339CE14 ,  5E339CE20 ,  5E339CF15 ,  5E339GG02 ,  5E343AA02 ,  5E343BB71 ,  5E343CC62 ,  5E343CC65 ,  5E343DD32 ,  5E343ER16 ,  5E343GG08 ,  5E343GG11
引用特許：
審査官引用 (4件)
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