特許
J-GLOBAL ID：201003008645468764
誘導結合プラズマ処理装置のカバー固定具およびカバー固定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
渡邊 和浩
, 星宮 勝美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-010711
公開番号（公開出願番号）：特開2010-251708
出願日： 2010年01月21日
公開日（公表日）： 2010年11月04日
要約：
【課題】誘導結合プラズマ処理装置において、窓部材の下面を覆うカバーの破損とパーティクルの発生を抑制し、且つカバーを容易に着脱できるようにする。【解決手段】誘導結合プラズマ処理装置の誘電体カバー12は、下面とこの下面に続く側端とを有する被支持部12A1,12B1を含んでいる。誘電体カバー固定具18Aは、誘電体カバー12の被支持部12A1,12B1における下面に当接し、誘電体壁6を支持する支持部材としての支持梁16と誘電体壁6のうちの少なくとも一方との間で被支持部12A1,12B1を挟むようにして被支持部12A1,12B1を支持する支持部18A1,18A2と、この支持部18A1,18A2に接続され、一部が被支持部12A1,12B1の側端の側方に配置され、支持梁16との位置関係が変化しないように固定される被固定部18A3とを備えている。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
天井部分を構成する窓部材を有し、プラズマ処理が行われる処理室と、前記窓部材の上方に配置され、前記処理室内に誘導電界を形成する高周波アンテナと、前記窓部材を支持する支持部材と、前記窓部材の下面を覆うカバーとを備えた誘導結合プラズマ処理装置に用いられ、前記カバーを固定する誘導結合プラズマ処理装置のカバー固定具であって、
前記カバーの一部である下面を有する被支持部を支持する支持部と、
前記支持部材に固定される被固定部と
を備えたことを特徴とする誘導結合プラズマ処理装置のカバー固定具。
IPC (3件)：
H01L 21/306
, H05H 1/46
, H01L 21/205
H01L21/302 101C
, H05H1/46 L
, H01L21/205
4K030FA04
, 4K030KA12
, 4K030KA30
, 4K030KA45
, 5F004BA20
, 5F004BB11
, 5F004BB32
, 5F004BD01
, 5F004BD04
, 5F045AA08
, 5F045BB20
, 5F045CA15
, 5F045DP03
, 5F045EH03
, 5F045EH11
