特許
J-GLOBAL ID:201003010222688410
拡散用ボロンペースト及びそれを用いた太陽電池の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
好宮 幹夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-222595
公開番号(公開出願番号):特開2010-056465
出願日: 2008年08月29日
公開日(公表日): 2010年03月11日
要約:
【課題】半導体基板に拡散層を形成するために、スクリーン印刷により基板に連続印刷するときに使用する拡散用ボロンペーストにおいて、周囲の湿度による粘度への影響が少なく、連続印刷回数を重ねても増粘の恐れがない拡散用ボロンペーストを提供する。【解決手段】基板に拡散層を形成するためにスクリーン印刷により前記基板上に塗布される拡散用ボロンペーストであって、該拡散用ボロンペーストは少なくとも、前記拡散層のドーパントとなるホウ素を含有するドープ剤と、有機バインダー及び固形分を含有するチクソ剤と、有機溶剤を含むものであり、前記ドープ剤は、ホウ素化合物であることを特徴とする拡散用ボロンペースト。【選択図】図2
請求項(抜粋):
基板に拡散層を形成するためにスクリーン印刷により前記基板上に塗布される拡散用ボロンペーストであって、該拡散用ボロンペーストは少なくとも、
前記拡散層のドーパントとなるホウ素を含有するドープ剤と、
有機バインダー及び固形分を含有するチクソ剤と、
有機溶剤を含むものであり、
前記ドープ剤は、ホウ素化合物であることを特徴とする拡散用ボロンペースト。
IPC (4件):
H01L 21/225
, H01L 31/04
, B05D 1/26
, B05D 7/24
FI (5件):
H01L21/225 R
, H01L31/04 A
, B05D1/26 A
, B05D7/24 301K
, H01L21/225 D
Fターム (28件):
4D075AC45
, 4D075DC21
, 4D075EA31
, 4D075EB19
, 4D075EC08
, 4D075EC30
, 5F051AA03
, 5F051BA14
, 5F051CB18
, 5F051CB20
, 5F051DA04
, 5F051FA06
, 5F051FA14
, 5F051FA15
, 5F051GA04
, 5F051GA15
, 5F051HA03
, 5F151AA03
, 5F151BA14
, 5F151CB18
, 5F151CB20
, 5F151DA04
, 5F151FA06
, 5F151FA14
, 5F151FA15
, 5F151GA04
, 5F151GA15
, 5F151HA03
引用特許:
出願人引用 (1件)
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ホウ素拡散用塗布液
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-213030
出願人:日本合成化学工業株式会社, 直江津電子工業株式会社, サンケン電気株式会社
審査官引用 (17件)
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特開平3-119722
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特開昭56-018416
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特開平3-119722
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特開昭56-101744
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特開昭56-101744
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拡散用フィルムとその製造方法および半導体基板の不純物拡散方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-335644
出願人:株式会社東芝
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ホウ素拡散用塗布液
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-350728
出願人:東京応化工業株式会社
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特開昭56-018416
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半導体シリコン基板の不純物拡散方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-074492
出願人:直江津電子工業株式会社
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特開平3-119722
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特開昭56-101744
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特開昭56-018416
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特開昭56-018416
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特開昭56-018416
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ホウ素拡散用塗布液
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-213030
出願人:日本合成化学工業株式会社, 直江津電子工業株式会社, サンケン電気株式会社
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特開平4-085821
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特開平4-085821
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