特許
J-GLOBAL ID：201003011639531935
マイクロホン装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
小栗 昌平
, 市川 利光
, 橋本 公秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-001269
公開番号（公開出願番号）：特開2010-136406
出願日： 2010年01月06日
公開日（公表日）： 2010年06月17日
要約：
【課題】小さなマイクロホン装置単独で、高精度かつ安定した指向性収音およびステレオ収音を可能とすること。【解決手段】MEMS技術を用いて製造される、高精度かつ安定性に優れたMEMS収音素子11a,11bを並列に配置して共通の実装基板65上に実装し、カプセル64に収納する。カプセル64は、回折音響の漏れ込みを防止可能な構造とする。例えば、カプセル64の中央に隔壁68を設け、隔壁68によって区切られる一つの空間につき一つの音孔67a,67bを設ける。これにより、一方の収音素子用の音孔に到来した音響が回折して他方の収音素子に到達することがなく、音響パス(P1,P2)が一本化され、適切な演算処理によって指向性収音が可能となる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
半導体基板と、前記半導体基板上に形成され、かつ、互いに向かい合うように配置された第1の振動板および第1の背面板とを有する第1の収音素子と、
前記半導体基板と、前記半導体基板上に形成され、かつ、互いに向かい合うように配置された第2の振動板および第2の背面板とを有する第2の収音素子と、
前記第1の収音素子および前記第2の収音素子とを覆うように、前記半導体基板上に搭載されるマイクロホンカプセルとを備え、
前記マイクロホンカプセルと前記半導体基板とで形成された内部空間には、前記第1の収音素子および前記第2の収音素子とを仕切る隔壁を有し、
前記マイクロホンカプセルは、前記第1の収音素子および前記第2の収音素子のそれぞれに対応する位置に音孔を有しているマイクロホン装置。
IPC (5件)：
H04R 1/40
, H04R 1/02
, H04R 19/04
, H01L 29/84
, H04R 3/00
H04R1/40 320A
, H04R1/02 106
, H04R19/04
, H01L29/84 Z
, H04R3/00 320
4M112AA06
, 4M112BA07
, 4M112CA01
, 4M112CA03
, 4M112CA06
, 4M112CA11
, 4M112CA13
, 4M112EA02
, 4M112EA06
, 4M112EA11
, 4M112FA20
, 5D017BC15
, 5D018BB22
, 5D020BB05
, 5D021CC19
