微細構造転写装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：梶山佶是 , 山本富士男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-132804
公開番号（公開出願番号）：特開2010-280065
出願日： 2009年06月02日
公開日（公表日）： 2010年12月16日
要約：

【課題】プレス機構などを使用せず、エアバブルによる転写欠陥の発生が無く、しかもスタンパの剥離が容易な微細構造転写装置を提供する。【解決手段】ベース板3の上面に第1の支柱9と第2の支柱が立設されており、前記第1の支柱の上端面に長尺スタンパ7の一端が固定されており、前記長尺スタンパの他端は前記第2の支柱に配設された昇降装置により上下に昇降可能に支持されており、前記長尺スタンパの下面側の微細パターンが存在する位置に対応する位置であって、前記第1の支柱と第2の支柱の間のベース板上面に、被転写体載置用ステージが配設されており、前記長尺スタンパの上面側であって、前記長尺スタンパの長手方向に沿って往復動する加圧装置が配設されている微細構造転写装置。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ベース板の上面に第1の支柱と第2の支柱が立設されており、前記第1の支柱の上端面に長尺スタンパの一端が固定されており、前記長尺スタンパの他端は前記第2の支柱に配設された昇降装置により上下に昇降可能に支持されており、前記長尺スタンパの下面側の微細パターンが存在する位置に対応する位置であって、前記第1の支柱と第2の支柱の間のベース板上面に、被転写体載置用ステージが配設されており、前記長尺スタンパの上面側であって、前記長尺スタンパの長手方向に沿って往復動する加圧装置が配設されている微細構造転写装置。

IPC (2件)：

B29C 59/02 , H01L 21/027

FI (2件)：

B29C59/02 Z , H01L21/30 502D

Fターム (14件)：

4F209AA43 , 4F209AA44 , 4F209AC05 , 4F209AF01 , 4F209AG05 , 4F209AH33 , 4F209AH73 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PN06 , 4F209PQ11 , 4F209PQ16 , 4F209PQ20 , 5F046AA28

引用特許：

審査官引用 (5件)

密着転写方法および装置ならびに転写型
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-205719 出願人：大日本印刷株式会社
ナノインプリント方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-375998 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所
成形型からリブ付き基板を製造する方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-163185 出願人：スリーエムイノベイティブプロパティズカンパニー

全件表示

前のページに戻る