特許

J-GLOBAL ID：201003013692877951

磁気検出装置、地磁気センサ

発明者： 早崎 嘉城 ,  片岡 万士 ,  石田 拓郎 ,  吉田 岳司
出願人/特許権者： パナソニック電工株式会社
代理人 (1件)： 小谷 悦司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-126956
公開番号（公開出願番号）：特開2010-237217
出願日： 2010年06月02日
公開日（公表日）： 2010年10月21日
要約：

【課題】小型の磁電変換素子に対する磁束の収束効率を向上させることができる磁気検出装置、及びこれを用いた地磁気センサを提供する。【解決手段】平板状の基板と、前記基板の一方面からその厚み方向に形成された凹部と、前記凹部内表面に形成された第1の磁性膜と、前記基板の一方面に対向する対向面に形成された第2の磁性膜と、前記第1及び第2の磁性膜の間に形成された磁電変換素子とを有する磁気検出装置であって、前記凹部は、その周壁が前記基板の一方面に対し垂直に形成され、前記凹部の底面部は、前記対向面と対向する平坦部と、前記平坦部から前記周壁部に向かうに従って大径となる傾斜部分とを有し、前記磁電変換素子の感度領域は、前記底面部と前記第2の磁性膜との間に形成した。【選択図】図13

請求項（抜粋）：

平板状の基板と、前記基板の一方面からその厚み方向に形成された凹部と、 前記凹部内表面に形成された第1の磁性膜と、 前記基板の一方面に対向する対向面に形成された第2の磁性膜と、 前記第1及び第2の磁性膜の間に形成された磁電変換素子とを有する磁気検出装置であって、 前記凹部は、その周壁が前記基板の一方面に対し垂直に形成され、 前記凹部の底面部は、前記対向面と対向する平坦部と、前記平坦部から前記周壁部に向かうに従って大径となる傾斜部分とを有し、 前記磁電変換素子の感度領域は、前記底面部と前記第2の磁性膜との間に形成されていることを特徴とする磁気検出装置。

IPC (5件)：

G01R 33/02 ,  H01L 29/82 ,  H01L 43/06 ,  H01L 43/00 ,  H01L 43/08

FI (5件)：

G01R33/02 V ,  H01L29/82 D ,  H01L43/06 Z ,  H01L43/00 ,  H01L43/08 Z

Fターム (15件)：

2G017AA03 ,  2G017AA16 ,  2G017AC07 ,  2G017AD51 ,  2G017AD61 ,  2G017AD65 ,  5F092AA01 ,  5F092AB01 ,  5F092AC01 ,  5F092AC02 ,  5F092AC04 ,  5F092AC17 ,  5F092BD15 ,  5F092BD22 ,  5F092FA08

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 磁電変換素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-282884   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭49-135587
  
• 磁電変換素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-159355   出願人：矢崎総業株式会社
• 特開昭50-099284
  

審査官引用 (4件)

• 磁電変換素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-282884   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭49-135587
  
• 磁電変換素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-159355   出願人：矢崎総業株式会社
• 特開昭50-099284