特許
J-GLOBAL ID:201003015920905904
X線解析装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
千葉 剛宏
, 宮寺 利幸
, 鹿島 直樹
, 大内 秀治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-328238
公開番号(公開出願番号):特開2010-151532
出願日: 2008年12月24日
公開日(公表日): 2010年07月08日
要約:
【課題】簡素な構造でありながら空間分解能が高いX線解析装置を提供する。【解決手段】測定物である単位セル18を保持する測定物保持機構20は、単位セル18の位置を調整可能な位置決めステージ30によって位置決めされ、且つ180°以上回転可能な回転台座74を有する回転ステージ68と、単位セル18を挟持する第1支持部材80及び第2支持部材82と、前記回転台座74と同期して回転動作することで単位セル18を第1支持部材80ごと回転動作させる回転用支持部材78と、支持軸100を介して第2支持部材82に押圧力を付与するエアシリンダ190と、支持軸100を回転自在に支持する軸受186と、エアシリンダ190が付与する押圧力を測定するロードセル188とを有する。この中、軸受186、エアシリンダ190及びロードセル188は回転しないように構成されている。【選択図】図2
請求項(抜粋):
測定物にX線を照射する一方、前記測定物を透過した透過X線を検出して前記測定物の内部の断層撮影像を得るX線解析装置であって、
前記測定物の位置を調整可能な位置決めステージと、
前記位置決めステージによって位置決めされ、且つ180°以上回転可能な回転台座を有する回転ステージと、
前記測定物を一端部から支持する第1支持部材と、
前記測定物を前記一端部とは別の端部から支持する第2支持部材と、
前記回転ステージと前記第1支持部材の間に介在され、前記回転台座と同期して回転動作することで前記測定物を前記第1支持部材ごと回転動作させる回転用支持部材と、
前記第2支持部材に対し、押圧力伝達部材を介して押圧力を付与する押圧力付与手段と、
前記押圧力伝達部材を回転自在に支持する受部材と、
前記押圧力付与手段が付与する押圧力を測定する押圧力測定手段と、
前記測定物に対してX線を照射するX線照射手段と、
前記測定物を透過したX線を検出するX線検出手段と、
前記X線検出手段からのデータに基づいて前記測定物の断層撮影像を作成するデータ処理部と、
を備えることを特徴とするX線解析装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (27件):
2G001AA01
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001GA08
, 2G001GA13
, 2G001HA14
, 2G001JA08
, 2G001JA12
, 2G001JA13
, 2G001JA14
, 2G001LA11
, 2G001PA12
, 2G001PA14
, 2G001PA16
, 2G001QA01
, 2G001QA10
, 2G001RA01
, 2G001RA03
, 2G061AA02
, 2G061AB01
, 2G061AC01
, 2G061CB20
, 2G061CC01
, 2G061DA12
, 2G061EA10
, 2G061EB10
, 2G061EC05
引用特許:
出願人引用 (3件)
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材料試験機
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-336649
出願人:株式会社島津製作所
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特公平7-104294
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材料評価装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-031076
出願人:新日本製鐵株式会社
審査官引用 (2件)
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特公平7-104294
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材料評価装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-031076
出願人:新日本製鐵株式会社
引用文献:
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