特許
J-GLOBAL ID：200903042535812080
圧力検出装置用パッケージ
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-396931
公開番号（公開出願番号）：特開2005-156410
出願日： 2003年11月27日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：
【課題】 小型で高感度であり、外部の圧力を正確に検出可能な圧力検出装置用パッケージを提供すること。【解決手段】 圧力検出装置用パッケージは、一方の主面に半導体素子3が搭載される搭載部1bを有する絶縁基体1と、絶縁基体1の他方の主面の中央部に形成された凸部と、絶縁基体1の表面および内部に配設され、半導体素子3の各電極が電気的に接続される複数の配線導体5と、凸部との間に密閉空間を形成するように可撓な状態で絶縁基体1の凸部の周囲に接合された絶縁板2と、密閉空間内の凸部の上面に被着され、配線導体5の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第一電極7と、絶縁板2の内側の主面に第一電極7と対向するように被着され、配線導体5の他の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第二電極9と、絶縁板2の内側の主面の外周部に全周にわたって形成されるとともに凸部の上面に当接された段差部2aとを具備している。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
一方の主面に半導体素子が搭載される搭載部を有する絶縁基体と、該絶縁基体の他方の主面の中央部に形成された凸部と、前記絶縁基体の表面および内部に配設され、前記半導体素子の各電極が電気的に接続される複数の配線導体と、前記凸部との間に密閉空間を形成するように可撓な状態で前記絶縁基体の前記凸部の周囲に接合された絶縁板と、前記密閉空間内の前記凸部の上面に被着され、前記配線導体の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第一電極と、前記絶縁板の内側の主面に前記第一電極と対向するように被着され、前記配線導体の他の一つに電気的に接続された静電容量形成用の第二電極と、前記絶縁板の内側の主面の外周部に全周にわたって形成されるとともに前記凸部の上面に当接された段差部とを具備していることを特徴とする圧力検出装置用パッケージ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
2F055AA40
, 2F055CC02
, 2F055DD09
, 2F055EE25
, 2F055FF21
, 2F055FF45
, 2F055GG12
出願人引用 (1件)
審査官引用 (8件)
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