特許
J-GLOBAL ID:201003020985860987
磁気ディスク用ガラス基板の製造方法及び磁気ディスクの製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
青木 宏義
, 天田 昌行
, 岡田 喜雅
, 菅野 亨
, 溝口 勉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2008-289499
公開番号(公開出願番号):特開2010-115731
出願日: 2008年11月12日
公開日(公表日): 2010年05月27日
要約:
【課題】微細な遊離砥粒及び硬度の低い研磨パッドを用いて研磨を行う場合においても、良好な表面粗さを維持しつつ端部形状の悪化を改善すること。【解決手段】本発明の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法は、キャリア4から一部を露出させた状態で保持されたガラス基板5の主表面を研磨する研磨工程を含む磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、ガラス基板5の外周近傍における研磨パッド1のキャリア4側への移動を規制した状態で当該研磨パッド1をガラス基板5の主表面に密着させ、キャリア4を回転させてガラス基板5の主表面を研磨することを特徴とする。【選択図】図2
請求項(抜粋):
キャリアから一部を露出させた状態で保持されたガラス基板の主表面を研磨する研磨工程を含む磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、
前記ガラス基板の外周近傍における研磨パッドの前記キャリア側への移動を規制した状態で当該研磨パッドを前記ガラス基板の主表面に密着させ、前記キャリアを回転させて前記ガラス基板の主表面を研磨することを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
IPC (3件):
B24B 37/04
, G11B 5/84
, G11B 5/73
FI (4件):
B24B37/04 E
, B24B37/04 C
, G11B5/84 A
, G11B5/73
Fターム (15件):
3C058AA07
, 3C058AB04
, 3C058AB08
, 3C058AB09
, 3C058CA06
, 3C058CB02
, 3C058DA06
, 3C058DA17
, 3C058DA18
, 5D006CB04
, 5D006CB07
, 5D112AA02
, 5D112BA03
, 5D112BA09
, 5D112GA09
引用特許:
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