特許
J-GLOBAL ID：201003022466504998
傾斜調整機構およびこの傾斜調整機構の制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
梁瀬 右司
, 振角 正一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-192169
公開番号（公開出願番号）：特開2010-034132
出願日： 2008年07月25日
公開日（公表日）： 2010年02月12日
要約：
【課題】ステージの傾きを高精度に調整できるとともに、ステージに加えることのできる加圧力の増大を図ることのできる技術を提供する。【解決手段】少なくともステージ21の傾斜調整時には、半球体22と球面軸受23とが離間するように各圧電素子24a,24b,24cを伸縮するため、圧電素子の伸縮によりステージ21の傾きを調整するときに、球面軸受23が半球体22と接触することに起因する摩擦力等の外乱が生じることが一切ないので、滑らかな動作により非常に高精度にステージ21の傾きを調整できる。また、球面軸受23が半球体22と接離自在に面接触してステージ21を支持しているため、ステージ21に高加圧力が加えられたとしても、球面軸受23が半球体22を下方から面で支持することにより確実にステージ21を支持することができ、ステージ21に加えることのできる加圧力の増大を図ることができる。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
上面に傾斜調整対象物が載置されるステージと、
前記ステージの下面と接離自在に面接触して前記ステージを支持するバックアップ手段と、
先端に支持部が設けられた複数のピエゾ素子を有し、前記各ピエゾ素子が伸縮しながら前記支持部により前記ステージを下方から支持して前記ステージの傾きを調整するピエゾ駆動手段とを備え、
前記ピエゾ駆動手段は、少なくとも前記ステージの傾斜調整時には、前記ステージの下面とバックアップ手段とが離間するように前記各ピエゾ素子を伸縮する
ことを特徴とする傾斜調整機構。
IPC (4件)：
H01L 21/60
, H01L 21/027
, H01L 21/02
, G05D 3/00
H01L21/60 311T
, H01L21/30 502D
, H01L21/02 B
, H01L21/30 503A
, G05D3/00 G
5F044PP15
, 5F046AA28
, 5F046CC01
, 5F046CC05
, 5H303BB03
, 5H303BB08
, 5H303BB14
, 5H303CC01
, 5H303DD14
, 5H303QQ06
