特許
J-GLOBAL ID：200903069906169687
加圧装置の平行調整方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-275620
公開番号（公開出願番号）：特開2006-116602
出願日： 2005年09月22日
公開日（公表日）： 2006年05月11日
要約：
【課題】ナノインプリントと呼ばれる微細成型分野において、保持手段に片当たりが生じることのない平行調整方法及びその方法を用いた接合装置を提供する。【解決手段】転写型34、基材35の両被加圧物を対向保持する転写型保持ツール32、基材保持ツール33のうち、少なくとも一方の保持ツールにおいて被加圧物と対向していない面(裏面)に複数のピエゾアクチュエータ30を接触または連結し、かつ、少なくとも一方の保持ツールに複数の圧力検出素子31を配置する。基材に転写型を転写するとき、加圧しながら両保持ツール間の傾きを圧力検出素子で検出し、ピエゾアクチュエータで傾きを補正し、平行調整する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被加圧物同士を加圧する方法であって、両被加圧物を対向保持する保持ツールのうち、少なくとも一方の保持ツールの被加圧物と対向面に複数のピエゾアクチュエータが接触または連結され、かつ、少なくとも一方の保持ツールに複数の圧力検出素子が配置された加圧機構において、加圧して保持ツール間の傾きを圧力検出素子で検出し、ピエゾアクチュエータで傾きを補正し、平行調整する方法。
IPC (3件)：
B30B 5/00
, B81C 5/00
, H01L 21/027
B30B5/00 Z
, B81C5/00
, H01L21/30 502D
出願人引用 (1件)
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電子部品装着装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-178734
出願人：松下電器産業株式会社
審査官引用 (7件)
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