特許

J-GLOBAL ID：201003022518252674

強誘電体、圧電体及びこれらの製造方法

発明者： 川江 健 ,  森本 章治 ,  寺内 裕紀 ,  津田 尚
出願人/特許権者： 国立大学法人金沢大学
代理人 (1件)： 新居 広守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-061896
公開番号（公開出願番号）：特開2010-219157
出願日： 2009年03月13日
公開日（公表日）： 2010年09月30日
要約：

【課題】強誘電特性及び圧電特性の劣化が抑制され、リーク特性が改善された強誘電体及び圧電体を提供する。【解決手段】BiFeO3を主成分とする強誘電体及び圧電体13は、BiFeO3の複数のFeサイトが、Tiと、Mn、Ni及びCuのいずれかとに元素置換されている。BiとFeとTiとMn、Ni及びCuのいずれかとからなるターゲットにパルスレーザを照射することで、基板11上に、BiとFeとTiとMn、Ni及びCuのいずれかとを堆積させることにより、BiFeO3を主成分とする強誘電体又は圧電体13の製造方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

BiFeO3を主成分とする強誘電体であって、 前記BiFeO3の複数のFeサイトが、Tiと、Mn、Ni及びCuのいずれかとに元素置換された 強誘電体。

IPC (8件)：

H01L 21/316 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/105 ,  H01L 21/822 ,  H01L 27/04 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/24 ,  C23C 14/08

FI (6件)：

H01L21/316 Y ,  H01L27/10 444C ,  H01L27/04 C ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/22 A ,  C23C14/08 K

Fターム (27件)：

4K029AA04 ,  4K029AA24 ,  4K029BA50 ,  4K029BD01 ,  4K029CA02 ,  4K029DB05 ,  4K029DB20 ,  5F038AC05 ,  5F038AC15 ,  5F038AC18 ,  5F038EZ11 ,  5F038EZ14 ,  5F038EZ20 ,  5F058BA01 ,  5F058BA11 ,  5F058BB06 ,  5F058BC03 ,  5F058BD05 ,  5F058BF12 ,  5F058BF77 ,  5F058BJ01 ,  5F083FR00 ,  5F083FR10 ,  5F083GA07 ,  5F083GA30 ,  5F083JA13 ,  5F083JA17

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 圧電素子、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振器、及び電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-308967   出願人：セイコーエプソン株式会社
• 圧電性材料
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2007-531839   出願人：グッドリッチコントロールシステムズリミティド
• ペロブスカイト型酸化物とその製造方法、圧電体、圧電素子、液体吐出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-055156   出願人：富士フイルム株式会社
• ペロブスカイト型酸化物、酸化物組成物、酸化物体、圧電素子、及び液体吐出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-162375   出願人：富士フイルム株式会社
• 圧電材料および圧電素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-095050   出願人：セイコーエプソン株式会社