特許
J-GLOBAL ID：200903055813415300
圧電素子、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、薄膜圧電共振器、及び電子機器
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
西 和哉
, 志賀 正武
, 青山 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-308967
公開番号（公開出願番号）：特開2005-039166
出願日： 2003年09月01日
公開日（公表日）： 2005年02月10日
要約：
【課題】 高性能でPbを含有せず、しかもSi基板上への直接的な実装を可能にして薄膜プロセスでの形成を可能にした圧電素子と、これを用いたインクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、及び電子機器を提供する。【解決手段】 BiFeO3からなる圧電体膜5を備えた圧電素子1。この圧電素子1は、内容積が変化するキャビティーを備えたインクジェット式記録ヘッドにおいて、圧電体膜5の変形によってキャビティーの内容積を変化させるものであってもよい。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
BiFeO3からなる圧電体膜を備えたことを特徴とする圧電素子。
IPC (9件)：
H01L41/09
, B41J2/045
, B41J2/055
, H01L41/08
, H01L41/18
, H01L41/22
, H01L41/24
, H02N2/00
, H03H9/25
H01L41/08 C
, H02N2/00 B
, H03H9/25 C
, B41J3/04 103A
, H01L41/08 L
, H01L41/18 101Z
, H01L41/08 D
, H01L41/08 J
, H01L41/22 A
, H01L41/22 Z
2C057AG44
, 2C057AG47
, 2C057BA14
, 5J097FF01
, 5J097HA03
出願人引用 (1件)
審査官引用 (7件)
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