マクロモノマーを用いて製造した高分子をアルカリ可溶性樹脂として含む感光性樹脂組成物

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-502945
公開番号（公開出願番号）：特表2010-524042
出願日： 2008年04月11日
公開日（公表日）： 2010年07月15日
要約：

【課題】【解決手段】本発明はマクロモノマーを用いて製造した高分子をアルカリ可溶性樹脂として含む感光性樹脂組成物に関し、前記感光性樹脂組成物はカラーフィルター製造用感光剤、オーバーコート感光剤、コラムスペーサ、光遮蔽性を有する絶縁材などの様々な用途として用いることができ、感光剤の残渣、耐化学性、耐熱性などの物性を改善させることができる。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

1)不飽和カルボン酸エステル類、芳香族ビニル類、不飽和エーテル類、N-ビニル第3アミン類、不飽和イミド類および無水マレイン酸類モノマーからなる群より選択される1種以上の不飽和エチレン性モノマーを、熱重合開始剤および末端にカルボン酸構造を有するチオール系化合物である分子量調節剤を利用して熱重合方法によって重合して片末端に酸基を有した生成物を得るステップと; 2)前記1)ステップで得た片末端に酸基を有した生成物と末端にエポキシ構造を有するメタクリル系あるいはアクリル系モノマーを反応させてマクロモノマーを製造するステップ;および 3)前記2)ステップで得たマクロモノマーと酸基を含むモノマーを重合させるステップを含む方法によって製造された高分子をアルカリ可溶性樹脂として含む感光性樹脂組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/033 , H01L 21/027 , G02B 5/20 , C08F 290/04 , G03F 7/004

FI (5件)：

G03F7/033 , H01L21/30 502R , G02B5/20 101 , C08F290/04 , G03F7/004 501

Fターム (57件)：

2H048BA02 , 2H048BA45 , 2H048BA48 , 2H048BB32 , 2H048BB42 , 2H125AC36 , 2H125AC46 , 2H125AD02 , 2H125AD10 , 2H125AD14 , 2H125AM13P , 2H125AM22P , 2H125AM32P , 2H125AM39P , 2H125AM90P , 2H125AN39P , 2H125AN94P , 2H125AP03P , 2H125CA16 , 2H125CB05 , 2H125CC01 , 2H125CC13 , 4J127AA02 , 4J127AA07 , 4J127BB021 , 4J127BB101 , 4J127BB221 , 4J127BC021 , 4J127BC121 , 4J127BD021 , 4J127BE05X , 4J127BE051 , 4J127BE31Y , 4J127BE311 , 4J127BE46X , 4J127BE461 , 4J127BF67X , 4J127BF671 , 4J127BG05X , 4J127BG051 , 4J127BG10Y , 4J127BG101 , 4J127BG12Y , 4J127BG121 , 4J127BG17Y , 4J127BG171 , 4J127BG31X , 4J127BG311 , 4J127BG33X , 4J127BG331 , 4J127CB122 , 4J127CB151 , 4J127CB153 , 4J127CC031 , 4J127CC193 , 4J127DA26 , 4J127FA17

引用特許：

出願人引用 (9件)

感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント及びレジストパターンの製造法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-171958 出願人：日立化成工業株式会社
特開昭60-133007
硬化性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-135174 出願人：東亞合成株式会社

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審査官引用 (9件)

硬化性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-135174 出願人：東亞合成株式会社
感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント及びレジストパターンの製造法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-171958 出願人：日立化成工業株式会社
特開昭60-133007

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