特許

J-GLOBAL ID：201003023737123797

光源装置および当該光源装置を備える露光装置

発明者： 前薗 好成
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 吉雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-011621
公開番号（公開出願番号）：特開2010-171159
出願日： 2009年01月22日
公開日（公表日）： 2010年08月05日
要約：

【課題】光源から出射される光出力を高いものとするとともに、発生した光を無駄にすることなく効率良く利用することが可能な光源装置を提供する。【解決手段】光源装置であって、放電媒体が封入された発光部を有するランプと、前記ランプから出射した光を反射する凹面形状の反射面と光出射方向側に設けられた開口とを有し、前記ランプから出射した光を反射して前記開口より出射する凹面反射鏡と、前記凹面反射鏡の前記開口側からレーザー光を入射させ、レーザー光を前記ランプに照射するレーザー発振器と、前記レーザー発振器から出射したレーザー光の形状をリング状に成形するための成形部材と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

放電媒体が封入された発光部を有するランプと、 前記ランプから出射した光を反射する凹面形状の反射面と光出射方向側に設けられた開口とを有し、前記ランプから出射した光を反射して前記開口より出射する凹面反射鏡と、 前記凹面反射鏡の前記開口側からレーザー光を入射させ、レーザー光を前記ランプに照射するレーザー発振器と、 前記レーザー発振器から出射したレーザー光の形状をリング状に成形するための成形部材と、を備えることを特徴とする光源装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  H01J 61/86 ,  H01J 61/88 ,  G03F 7/20 ,  F21S 2/00

FI (6件)：

H01L21/30 515C ,  H01J61/86 ,  H01J61/88 C ,  H01L21/30 527 ,  G03F7/20 521 ,  F21S2/00 340

Fターム (12件)：

3K243AA01 ,  3K243AC06 ,  3K243BE08 ,  5C039HH09 ,  5C039HH13 ,  5F046CA02 ,  5F046CB03 ,  5F046CB05 ,  5F046CB13 ,  5F046CB22 ,  5F046DA01 ,  5F172ZZ20

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-256965   出願人：ウシオ電機株式会社
• X線発生装置、及びこれを用いた露光装置やデバイス生産方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-272727   出願人：キヤノン株式会社