特許
J-GLOBAL ID:201003023971480960
感光性樹脂組成物
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
田中 光雄
, 山田 卓二
, 森住 憲一
, 柴田 康夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-245257
公開番号(公開出願番号):特開2010-134444
出願日: 2009年10月26日
公開日(公表日): 2010年06月17日
要約:
【課題】十分な解像度を示す、高い透過率のパターンを形成し得る感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】バインダー樹脂(A)、カルボン酸無水物及び少なくとも2個のカルボキシ基を有する化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物(B)、光重合性化合物(C)、並びに光重合開始剤(D)を含有し、 バインダー樹脂(A)が、少なくとも、不飽和カルボン酸及び/又は不飽和カルボン酸無水物(A-a)と、該(A-a)と共重合可能な単量体(A-b)及び/又は炭素数2〜4の環状エーテル構造を有する単量体(A-c)とを重合してなるバインダー樹脂である、感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項(抜粋):
バインダー樹脂(A)、カルボン酸無水物及び少なくとも2個のカルボキシ基を有する化合物からなる群から選ばれる少なくとも1種の化合物(B)、光重合性化合物(C)、並びに光重合開始剤(D)を含有し、
バインダー樹脂(A)が、少なくとも、不飽和カルボン酸及び/又は不飽和カルボン酸無水物(A-a)と、該(A-a)と共重合可能な単量体(A-b)及び/又は炭素数2〜4の環状エーテル構造を有する単量体(A-c)とを重合してなるバインダー樹脂である、感光性樹脂組成物。
IPC (4件):
G03F 7/033
, G03F 7/004
, G02F 1/133
, C08G 59/32
FI (4件):
G03F7/033
, G03F7/004 501
, G02F1/1339 500
, C08G59/32
Fターム (42件):
2H125AC36
, 2H125AD24
, 2H125AE13P
, 2H125AN02P
, 2H125AN21P
, 2H125AN34P
, 2H125AN56P
, 2H125AN58P
, 2H125AN71P
, 2H125AN82P
, 2H125AN92P
, 2H125BA02P
, 2H125BA09P
, 2H125BA11P
, 2H125BA13P
, 2H125BA22P
, 2H125CA22
, 2H125CB05
, 2H125CC01
, 2H125CC13
, 2H189DA07
, 2H189EA06X
, 2H189FA16
, 2H189LA01
, 2H189LA14
, 4J036AK10
, 4J036DB15
, 4J036DB18
, 4J036DB20
, 4J036DB21
, 4J036DB22
, 4J036DC17
, 4J036DC40
, 4J036FA10
, 4J036FA12
, 4J036GA03
, 4J036GA22
, 4J036GA23
, 4J036GA24
, 4J036HA02
, 4J036JA01
, 4J036JA09
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
感光性樹脂組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願2007-308495
出願人:住友化学株式会社
審査官引用 (10件)
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