特許
J-GLOBAL ID：201003026038416753
円盤状部材の中心位置推定方法及び画像処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
田澤 英昭
, 濱田 初音
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-086226
公開番号（公開出願番号）：特開2010-238970
出願日： 2009年03月31日
公開日（公表日）： 2010年10月21日
要約：
【課題】ウエハ等の円盤状部材の中心位置を高精度に推定する方法の提供。【解決手段】トランスファチャンバ4の外側に設置され、トランスファチャンバ4に設けられたビューポートを介してウエハ3の輪郭線を含む画像を2箇所撮像する撮像カメラ2と、撮像カメラ2で撮像された各画像から抽出したウエハ3の各円弧情報を用いて、ウエハ3の外周を推定した推定円をそれぞれ求めて、2つの推定円からウエハ3の中心位置を推定する計測部とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
撮像手段により円盤状部材の一部を撮像した円弧画像を用いて、円弧の輪郭を示す円弧情報を抽出して推定円を求め、この推定円を利用して当該円盤状部材の中心位置を推定する中心位置推定方法であって、
前記撮像手段により円盤状部材の任意範囲の円弧が撮像された画像を少なくとも所定方向の1軸を基準にして座標上の位置を規定した第1の円弧画像とし、前記第1の円弧画像から第1の円弧情報を抽出して、前記第1の円弧情報に基づいて第1の推定円を求めると共に、前記撮像手段により円盤状部材の、前記任意範囲と少なくとも一部が異なる範囲の円弧が撮像された画像を前記1軸を基準にして座標上の位置を規定した第2の円弧画像とし、前記第2の円弧画像から第2の円弧情報を抽出して、前記第2の円弧情報に基づいて第2の推定円を求める円推定ステップと、
前記座標上において、前記第1の推定円上の最大点又は前記第2の推定円上の最大点を第1の頂点とする第1頂点算出ステップと、
前記座標上において、前記第1の推定円上の最小点又は前記第2の推定円上の最小点を第2の頂点とする第2頂点算出ステップと、
前記第1の頂点と前記第2の頂点との中点を求め、当該中点を前記円盤状部材の中心位置と推定する中心推定ステップとからなることを特徴とする円盤状部材の中心位置推定方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
4M106AA01
, 4M106CA50
, 4M106DH12
, 4M106DJ20
