特許
J-GLOBAL ID：201003026659879226
研磨装置
発明者：
,
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
渡邉 勇
, 小杉 良二
, 廣澤 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-200821
公開番号（公開出願番号）：特開2010-274415
出願日： 2010年09月08日
公開日（公表日）： 2010年12月09日
要約：
【課題】基板の領域毎に異なった圧力で加圧することが可能な研磨ヘッドにおいて隣り合う領域の間で異なった圧力で基板を加圧する場合に、領域間で研磨圧力に階段状の段差を生じさせることなく、研磨圧力をなだらかに変化させることができる研磨装置を提供する。【解決手段】本発明の研磨装置は、研磨面を有した研磨テーブル100と、圧力流体が供給される複数の圧力室を形成する弾性膜4を有し、複数の圧力室に圧力流体を供給することで流体圧により基板Wを研磨面101aに押圧する研磨ヘッドとを備え、隣接する二つの圧力室に跨るように、弾性膜4より剛性の高い材料からなるダイヤフラム10を設け、ダイヤフラム10は、二つの圧力室の境界から内周側および外周側に10mm以上の範囲を有する。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
研磨面を有した研磨テーブルと、
圧力流体が供給される複数の圧力室を形成する弾性膜を有し、前記複数の圧力室に圧力流体を供給することで流体圧により基板を前記研磨面に押圧する研磨ヘッドとを備え、
隣接する二つの圧力室に跨るように、前記弾性膜より剛性の高い材料からなるダイヤフラムを設け、
前記ダイヤフラムは、前記二つの圧力室の境界から内周側および外周側に10mm以上の範囲を有することを特徴とする研磨装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B37/04 N
, H01L21/304 622K
3C058AA07
, 3C058AB04
, 3C058BA02
, 3C058BA05
, 3C058BC01
, 3C058CB02
, 3C058DA12
, 3C058DA17
, 5F057AA05
, 5F057BA11
, 5F057CA11
, 5F057DA03
, 5F057FA18
, 5F057FA20
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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