TiO2を含有するシリカガラスおよびEUVリソグラフィ用光学部材

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：渡辺望稔 , 三和晴子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-040513
公開番号（公開出願番号）：特開2010-163345
出願日： 2009年02月24日
公開日（公表日）： 2010年07月29日
要約：

【課題】EUVL用露光装置の光学系部材として使用した場合に、高EUVエネルギー光の照射時の線熱膨張係数がほぼゼロとなり、かつ超高平滑性を有するTiO2-SiO2ガラスの提供。【解決手段】TiO2含有量が7.5〜12質量%であり、線熱膨張係数が0ppb/°Cとなる温度が40〜110°Cの範囲にあり、脈理の応力レベルの標準偏差(σ)が0.03MPa以下であることを特徴とするTiO2を含有するシリカガラス。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

TiO2含有量が7.5〜12質量%であり、線熱膨張係数が0ppb/°Cとなる温度が40〜110°Cの範囲にあり、脈理の応力レベルの標準偏差(σ)が少なくとも一つの面内における30mm×30mmの範囲で0.03MPa以下であることを特徴とするTiO2を含有するシリカガラス。

IPC (5件)：

C03C 3/06 , C03C 3/076 , C03B 20/00 , C03B 8/04 , H01L 21/027

FI (8件)：

C03C3/06 , C03C3/076 , C03B20/00 F , C03B8/04 L , C03B8/04 R , H01L21/30 531A , H01L21/30 531M , C03B8/04 E

Fターム (76件)：

4G014AH14 , 4G062AA04 , 4G062BB02 , 4G062CC07 , 4G062DA07 , 4G062DA08 , 4G062DB01 , 4G062DC01 , 4G062DD01 , 4G062DE01 , 4G062DF01 , 4G062EA01 , 4G062EA10 , 4G062EB01 , 4G062EC01 , 4G062ED01 , 4G062EE01 , 4G062EF01 , 4G062EG01 , 4G062FA01 , 4G062FB03 , 4G062FB04 , 4G062FC01 , 4G062FD01 , 4G062FE01 , 4G062FF01 , 4G062FG01 , 4G062FH01 , 4G062FJ01 , 4G062FK01 , 4G062FL01 , 4G062GA01 , 4G062GA10 , 4G062GB01 , 4G062GC01 , 4G062GD01 , 4G062GE01 , 4G062HH01 , 4G062HH03 , 4G062HH05 , 4G062HH07 , 4G062HH09 , 4G062HH11 , 4G062HH13 , 4G062HH15 , 4G062HH17 , 4G062HH20 , 4G062JJ01 , 4G062JJ03 , 4G062JJ05 , 4G062JJ07 , 4G062JJ10 , 4G062KK01 , 4G062KK03 , 4G062KK05 , 4G062KK07 , 4G062KK10 , 4G062MM02 , 4G062NN01 , 4G062NN29 , 4G062NN30 , 4G062NN33 , 4G062NN40 , 5F046BA05 , 5F046CB02 , 5F046CB03 , 5F046CB25 , 5F046DA12 , 5F046DA26 , 5F046GA03 , 5F046GA14 , 5F046GB01 , 5F046GD05 , 5F046GD06 , 5F046GD10 , 5F046GD20

引用特許：

審査官引用 (3件)

低い膨張係数勾配を有する低膨張性ガラス材料
公報種別：公表公報出願番号：特願2010-535957 出願人：コーニングインコーポレイテッド
TiO2を含有するシリカガラスおよびその製造法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-065275 出願人：旭硝子株式会社
TiO2を含有するシリカガラスおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-072762 出願人：旭硝子株式会社

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