特許
J-GLOBAL ID:201003032571098585
水冷モールド
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
杉村 憲司
, 来間 清志
, 高梨 玲子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-141301
公開番号(公開出願番号):特開2010-030880
出願日: 2009年06月12日
公開日(公表日): 2010年02月12日
要約:
【課題】水冷モールド構造の適正化を図ることによって、十分な耐熱性を有すると共に原料石英粉の未溶融部分を大幅に低減した水冷モールドを提供する。【解決手段】石英ルツボ製造用水冷モールド10であって、内部に冷却水が導入される空間をもち、金属または合金の熱伝導性材料からなる外側モールド部分11と、該外側モールド部分11の内面に密着して配設され、耐熱材料からなる内側モールド部分12とを有することを特徴とする。【選択図】図1
請求項(抜粋):
石英ルツボ製造用水冷モールドであって、内部に冷却水が導入される空間をもち、金属または合金の熱伝導性材料からなる外側モールド部分と、該外側モールド部分の内面に密着して配設され、耐熱材料からなる内側モールド部分とを有することを特徴とする水冷モールド。
IPC (3件):
C30B 29/06
, C03B 20/00
, C30B 15/10
FI (3件):
C30B29/06 502B
, C03B20/00 H
, C30B15/10
Fターム (7件):
4G014AH23
, 4G077AA02
, 4G077BA04
, 4G077CF10
, 4G077EG02
, 4G077HA12
, 4G077PD01
引用特許: