特許
J-GLOBAL ID：200903094511926734
石英ルツボ製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
波多野 久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-018484
公開番号（公開出願番号）：特開2000-219524
出願日： 1999年01月27日
公開日（公表日）： 2000年08月08日
要約：
【要約】【課題】石英ルツボの破損の危険がなく石英ルツボを安全に取出せる石英ルツボ製造装置を提供する。【解決手段】石英原料粉が供給される中空形状のモールド2と、モールド2が着脱自在に収納されるモールドホルダー3と、モールドホルダー3およびモールド2を回転させる回転手段4、モールド2内を減圧する減圧手段5と、モールド2内の石英原料粉を加熱する加熱手段6とを有し、モールド2は軸線に沿って複数個に分割され、モールドホルダー3は複数個に分割されることを特徴とする石英ルツボ製造装置。
請求項（抜粋）：
石英原料粉が供給される中空形状のモールドと、このモールドが着脱自在に収納されるモールドホルダーと、このモールドホルダーおよびモールドを回転させる回転手段と、前記モールド内を減圧する減圧手段と、前記モールド内の石英原料粉を加熱する加熱手段とを有し、前記モールドは軸線に沿って複数個に分割され、前記モールドホルダーは複数個に分割されることを特徴とする石英ルツボ製造装置。
Fターム (1件)：
引用特許：
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