特許
J-GLOBAL ID：201003032687419559
光モジュール
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
長谷川 芳樹
, 寺崎 史朗
, 石田 悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-014344
公開番号（公開出願番号）：特開2010-170029
出願日： 2009年01月26日
公開日（公表日）： 2010年08月05日
要約：
【課題】可動鏡を含む光学系の気密性を高めることができ、且つ小型化が可能な光モジュールを提供する。【解決手段】光モジュール1Aは、支持基板10と、支持基板10の板面10a上に絶縁層12を介して配置された半導体層14とを有するSOI基板から作製される光モジュールであって、Y軸方向に移動可能となっており、Y軸方向と交差する側面上に鏡面22aが形成された可動鏡22と、支持基板10の板面10a上に設けられ、可動鏡22の鏡面22aと光学的に結合されたフォトダイオード32と、支持基板10の板面10a上に設けられ、可動鏡22及びフォトダイオード32を気密に封じるキャップ部材34と、支持基板10及び絶縁層12を貫通して設けられ、フォトダイオード32と電気的に接続された素子用電極部36とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
支持基板と、前記支持基板の一方の板面上に絶縁層を介して配置された半導体層とを有する基板生産物から作製される光モジュールであって、
前記半導体層の一部分を含んで構成され、該部分と前記支持基板との間の前記絶縁層が除去されて前記一方の板面に沿った所定方向に移動可能となっており、前記所定方向と交差する側面上に鏡面が形成された可動鏡と、
前記支持基板の前記一方の板面上に設けられ、前記可動鏡の前記鏡面と光学的に結合された光半導体素子と、
前記支持基板の前記一方の板面上に設けられ、前記可動鏡及び前記光半導体素子を気密に封じるキャップ部材と、
前記支持基板及び前記絶縁層を貫通して設けられ、前記光半導体素子と電気的に接続された素子用電極部と
を備えることを特徴とする、光モジュール。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (20件)：
2F064EE01
, 2F064GG02
, 2F064GG12
, 2F064GG22
, 2F064GG52
, 2F064HH01
, 2H141MA27
, 2H141MB23
, 2H141MC07
, 2H141MD02
, 2H141MD05
, 2H141MD39
, 2H141ME09
, 2H141ME24
, 2H141MF02
, 2H141MF28
, 2H141MG10
, 2H141MZ16
, 2H141MZ19
, 2H141MZ26
