特許

J-GLOBAL ID：201003033305054200

熱分解法酸化亜鉛層を含む層複合材料及び該複合材料を含む電界効果トランジスタ

発明者： フランク-マルティン ペトラート ,  ハイコ ティーム ,  スヴェン ヒル ,  アンドレ エバース ,  岡村 康史 ,  ローラント シュメッヒェル
出願人/特許権者： エボニック デグサ ゲーエムベーハー ,  フォルシュングスツェントルム カールスルーエ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (8件)： 矢野 敏雄 ,  山崎 利臣 ,  久野 琢也 ,  杉本 博司 ,  高橋 佳大 ,  星 公弘 ,  二宮 浩康 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-503436
公開番号（公開出願番号）：特表2010-525560
出願日： 2008年03月10日
公開日（公表日）： 2010年07月22日
要約：

本発明は、誘電体層、及び熱分解法酸化亜鉛を含有しかつ誘電体層と結合する層を含む層複合材料に関する。また本発明は、熱分解法酸化亜鉛を誘電体層上に、酸化亜鉛粒子が200nm未満の平均凝集体直径で存在する分散液の形で塗布し、かつ酸化亜鉛層を乾燥させ、かつその後に、200°C未満の温度で処理する、該層複合材料を製造する方法に関する。また本発明は、熱分解法酸化亜鉛を基板層又は基板層複合材料に、酸化亜鉛粒子が200nm未満の平均凝集体直径で存在する分散液の形で塗布して、酸化亜鉛層を形成し、かつその後に、酸化亜鉛層及び基板層を200°C未満の温度で処理し、かつその後に誘電体層を酸化亜鉛層に塗布する、該層複合材料を製造する方法に関する。さらに本発明は、該層複合材料を有する電界効果トランジスタに関する。

請求項（抜粋）：

誘電体層と、熱分解法酸化亜鉛を含みかつ該誘電体層と結合する層とを含む、層複合材料。

IPC (3件)：

H01L 21/368 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (3件)：

H01L21/368 Z ,  H01L29/78 618B ,  H01L29/78 618A

Fターム (31件)：

5F053AA03 ,  5F053AA06 ,  5F053DD20 ,  5F053FF01 ,  5F053LL10 ,  5F053PP03 ,  5F053RR05 ,  5F053RR13 ,  5F110AA05 ,  5F110AA16 ,  5F110BB01 ,  5F110BB09 ,  5F110BB20 ,  5F110CC01 ,  5F110CC03 ,  5F110CC05 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD05 ,  5F110EE02 ,  5F110EE08 ,  5F110EE14 ,  5F110FF02 ,  5F110FF27 ,  5F110GG01 ,  5F110GG16 ,  5F110GG25 ,  5F110GG42 ,  5F110HK03 ,  5F110HK32 ,  5F110QQ06

引用特許：

出願人引用 (2件)

• トランジスタ構造及びその製作方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2005-501592   出願人：ザ・ステート・オブ・オレゴン・アクティング・バイ・アンド・スルー・ザ・ステート・ボード・オブ・ハイヤー・エデュケーション・オン・ビハーフ・オブ・オレゴン・ステート・ユニバーシティ
• ドープされた酸化亜鉛粉末、その製造方法およびその使用
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2004-526723   出願人：デグサアクチエンゲゼルシャフト

審査官引用 (2件)

• トランジスタ構造及びその製作方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2005-501592   出願人：ザ・ステート・オブ・オレゴン・アクティング・バイ・アンド・スルー・ザ・ステート・ボード・オブ・ハイヤー・エデュケーション・オン・ビハーフ・オブ・オレゴン・ステート・ユニバーシティ
• ドープされた酸化亜鉛粉末、その製造方法およびその使用
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2004-526723   出願人：デグサアクチエンゲゼルシャフト