特許
J-GLOBAL ID：201003036875480180
フイルム剥離装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
千葉 剛宏
, 宮寺 利幸
, 鹿島 直樹
, 田久保 泰夫
, 大内 秀治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-223992
公開番号（公開出願番号）：特開2010-058869
出願日： 2008年09月01日
公開日（公表日）： 2010年03月18日
要約：
【課題】簡単な工程及び構成で、変形した基板であってもフイルムを良好に剥離することができ、効率的且つ経済的なフイルム剥離処理を行うことを可能にする。【解決手段】支持体剥離装置130は、貼り付け基板24aを平坦状に強制的に保持する基板保持機構132を備える。基板保持機構132は、ガラス基板24のフイルム貼り付け面とは反対の面の四隅を吸着する第1吸着部138と、前記ガラス基板24のベースフイルム剥離方向の両端部を吸着する第2吸着部140と、前記ガラス基板24の中央部側を吸着する第3吸着部142とを備える。第1吸着部138は、ガラス基板24のフイルム貼り付け範囲外に配置され、それぞれシリンダ146を介して個別に進退可能な吸着パッド144aを備える。第2吸着部140及び第3吸着部142は、それぞれ複数の吸着パッド144b、144cを備える。【選択図】図9
請求項（抜粋）：
フイルムが貼り付けられた基板から、前記フイルムを剥離するフイルム剥離装置であって、
前記基板を平坦状に強制的に保持する基板保持機構と、
前記フイルムの端部を把持するフイルム把持機構と、
前記フイルム把持機構を移動させることにより、前記基板保持機構に平坦状に保持された前記基板から前記フイルムを剥離させる移動機構と、
を備え、
前記基板保持機構は、前記基板のフイルム貼り付け面とは反対の面の四隅を吸着するとともに、前記基板に対して進退自在な第1吸着部と、
前記基板のフイルム剥離方向の両端部又は前記フイルム剥離方向に交差する方向の両端部を吸着する第2吸着部と、
前記基板の中央部側を吸着する第3吸着部と、
を備えることを特徴とするフイルム剥離装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B65H41/00 B
, H01L21/68 N
3F108JA02
, 5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031DA15
, 5F031FA01
, 5F031FA02
, 5F031FA07
, 5F031GA53
, 5F031HA13
, 5F031HA37
, 5F031HA38
, 5F031HA78
, 5F031JA04
, 5F031JA27
, 5F031JA36
, 5F031LA07
, 5F031LA15
, 5F031MA37
, 5F031MA38
