特許
J-GLOBAL ID:201003038799663353

三次元形状測定方法及び三次元形状測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 吉田 研二 ,  石田 純
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-048662
公開番号(公開出願番号):特開2010-203867
出願日: 2009年03月02日
公開日(公表日): 2010年09月16日
要約:
【課題】精度良くかつ簡易なキャリブレーションによる三次元形状計測を実現する。【解決手段】 位相シフト法により三次元形状を求める場合において投影部及び撮像部からの距離が既知の位置に基準平板を配して位相の異なる複数の格子縞を投影し、撮像画像から各画素の位相を算出し、算出した位相と既知の距離とから位相-距離関係を算出する。また距離が既知の位置に、距離方向に直交する平面上での2次元座標が既知の基準グリッドを有する基準グリッド平板を配し、基準グリッドに基づいて撮像画像の各画素の二次元座標を算出し、算出した各画素の二次元座標と既知の距離とから距離-二次元座標関係を算出する。実測定時には所定距離の位置に被測定物を配し、位相の異なる複数の格子縞を投影し、撮像画像の各画素の位相を算出し、位相-距離関係に基づいて距離を算出し、距離-二次元座標関係に基づいて画素の二次元座標を算出し、被測定物の三次元形状を求める。【選択図】図1
請求項(抜粋):
位相の異なる複数の格子縞を被測定物に投影し、得られた格子縞画像から位相シフト法により、前記被測定物への距離方向座標と、該距離方向座標に直交する二次元座標とで表される三次元形状を求める三次元形状測定方法であり、 投影部及び撮像部からの距離が既知の位置に基準平板を配し、該基準平板に位相の異なる複数の格子縞を投影し、得られた格子縞の撮像画像から、複数の画素の各位相を算出し、前記算出した位相と前記既知の距離とから位相-距離関係を算出し、 前記投影部及び前記撮像部からの距離が既知の位置に、前記距離方向に直交する平面上での二次元座標が既知の基準グリッドを有する基準グリッド平板を配し、前記基準グリッドに基づいて撮像画像の複数の画素についての各二次元座標を算出し、前記算出した複数の画素の各二次元座標と前記既知の距離とから距離-二次元座標関係を算出し、 実測定時には、 前記投影部及び前記撮像部から所定距離の位置に前記被測定物を配し、 前記被測定物に前記位相の異なる複数の格子縞を投影して、得られた前記格子縞画像から各画素の位相を算出し、前記位相-距離関係に基づいて、対応画素についての距離を算出し、 前記距離-二次元座標関係に基づいて、前記算出した対応画素についての距離から該画素の二次元座標を算出して、前記被測定物の三次元形状を求めることを特徴とする三次元形状測定方法。
IPC (1件):
G01B 11/25
FI (1件):
G01B11/25 H
Fターム (15件):
2F065AA04 ,  2F065AA53 ,  2F065EE00 ,  2F065FF06 ,  2F065FF09 ,  2F065FF61 ,  2F065HH06 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL41 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ26
引用特許:
審査官引用 (3件)

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