特許
J-GLOBAL ID：201003040511115084
ガス吸着フィルタおよびガス吸着フィルタの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岩橋 文雄
, 内藤 浩樹
, 永野 大介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-078431
公開番号（公開出願番号）：特開2010-227830
出願日： 2009年03月27日
公開日（公表日）： 2010年10月14日
要約：
【課題】半導体製造装置内などで使用されるガス吸着フィルタにおいて、吸着効率が高く、圧力損失が小さくかつ使用寿命の長いフィルタを、簡単に製造できる方法を提供することを目的とする。【解決手段】吸着剤として活性炭粒子1と接着剤として粒子状熱可塑性樹脂接着剤3を混合し複合材料4とし、シート5と枠6とからなる容器に入れ、熱可塑性樹脂溶解温度で加熱して粒子状熱可塑性樹脂接着剤3を溶解させる。加熱した複合材料4とシート5に針8を刺して、複合材料4とシート5に貫通孔をあけたのち、針8を抜く。これによって通気端面をシート5で保護された、高吸着効率のガス吸着フィルタが得られる。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
吸着剤と熱可塑性樹脂接着剤の混合物をシート上に敷き、前記混合物を敷いたシートごと、前記熱可塑性樹脂接着剤が溶融する温度以上に加熱し、加熱された前記吸着剤と前記熱可塑性樹脂接着剤の混合物とその下に敷いたシートに対し、林立した針を刺して貫通させ、その後前記針を抜きとることで作成することを特徴とするガス吸着フィルタの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
4D012BA02
, 4D012BA03
, 4D012CA10
, 4D012CB03
, 4D012CG01
, 4D012CG02
出願人引用 (2件)
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ケミカルフィルタ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平8-052427
出願人：高砂熱学工業株式会社
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ケミカルフィルタ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-369183
出願人：株式会社ダン・タクマ
審査官引用 (6件)
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