特許
J-GLOBAL ID：201003043887877740

搬送装置、搬送方法、露光装置、及びデバイス製造方法

発明者：
高橋 謙

高橋 謙 について

, 
松本 一輝

松本 一輝 について

, 
牛久保 章夫

牛久保 章夫 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について

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株式会社ニコンテック

株式会社ニコンテック について


代理人 (3件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-298498
公開番号（公開出願番号）：特開2010-123888
出願日： 2008年11月21日
公開日（公表日）： 2010年06月03日
要約：
【課題】載置ずれや変形を生じさせることなく、基板保持部に基板を受け渡すこと。【解決手段】基板Pを保持する基板保持部としてのプレートホルダ9に基板Pを搬送する搬送装置は、基板Pを支持する支持装置としての搬送ハンド12と、搬送ハンド12を駆動し、プレートホルダ9からの搬送ハンド12の一部の高さと他部の高さとを相対的に変化させ、かつその一部の高さ及び他部の高さを減少させて、搬送ハンド12が支持する基板Pをプレートホルダ9に受け渡す駆動装置13,14と、を備える。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板を保持する基板保持部に前記基板を搬送する搬送装置において、 前記基板を支持する支持装置と、 前記支持装置を駆動し、前記基板保持部からの前記支持装置の一部の高さと他部の高さとを相対的に変化させ、かつ前記一部の高さ及び前記他部の高さを減少させて、前記支持装置が支持する前記基板を前記基板保持部に受け渡す駆動装置と、 を備えることを特徴とする搬送装置。
IPC (5件)：
H01L 21/677 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  B65G 49/06 ,  B25J 15/08
FI (5件)：
H01L21/68 A ,  H01L21/30 502J ,  G03F7/20 501 ,  B65G49/06 Z ,  B25J15/08 Z
Fターム (27件)：
2H097DB00 ,  2H097DC00 ,  2H097LA12 ,  3C007AS05 ,  3C007AS24 ,  3C007BS15 ,  3C007DS01 ,  3C007ES03 ,  3C007ES17 ,  3C007EV05 ,  3C007EV17 ,  3C007EV21 ,  3C007EV28 ,  3C007EW00 ,  3C007LV06 ,  3C007NS12 ,  5F031CA05 ,  5F031DA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031GA02 ,  5F031MA13 ,  5F031MA27 ,  5F031PA18 ,  5F031PA30 ,  5F046CD05
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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