測定電流値決定方法及び4探針抵抗率測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (21件)：鈴江武彦 , 蔵田昌俊 , 河野哲 , 中村誠 , 福原淑弘 , 峰隆司 , 白根俊郎 , 村松貞男 , 野河信久 , 幸長保次郎 , 河野直樹 , 砂川克 , 風間鉄也 , 勝村紘 , 河井将次 , 佐藤立志 , 岡田貴志 , 堀内美保子 , 竹内将訓 , 市原卓三 , 山下元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-201184
公開番号（公開出願番号）：特開2010-038699
出願日： 2008年08月04日
公開日（公表日）： 2010年02月18日
要約：

【課題】 4探針抵抗率測定において試料の測定に必要な電圧値を実現するために、試料に供給すべき電流の電流値を決定する方法を提供する。【解決手段】 4探針抵抗率測定において試料の電気抵抗を測定する際に、特定電圧値により測定するために試料に供給すべき電流値を決定する測定電流値決定方法であって、試料の測定結果である2組の電流値と電圧値を取得し、2組の電流値と電圧値の座標を結ぶ直線式、y=ax+bを求め、特定電圧値をこの直線式のxに代入することで電流値yを計算し、計算で求めた電流値yを試料に供給して電圧値を測定し、測定された電圧値が特定電圧値の許容範囲に含まれるとき測定された電圧値に対応した電流値を試料の測定に使用する電流値と決定する測定電流値決定方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

4探針抵抗率測定により試料の電気抵抗を測定する際に、特定電圧値により測定するために前記試料に供給すべき電流値を決定する測定電流値決定方法であって、前記試料の測定結果である2組の電流値と電圧値を取得し、前記2組の電流値と電圧値の座標を結ぶ直線式、y=ax+bを求め、前記特定電圧値をこの直線式のxに代入することで前記電流値yを計算し、前記計算で求めた電流値yを前記試料に供給して電圧値を測定し、前記測定された電圧値が前記特定電圧値の許容範囲に含まれるとき、当該測定された電圧値に対応する電流値を前記試料の測定に使用する電流値と決定し、前記測定した電圧値が前記特定電圧値の許容範囲に含まれないとき、前記計算した電流値yと前記測定した電圧値の座標とその前に測定した測定結果である電流値と電圧値の座標とを結ぶ直線式を求め、この直線式を用いた前記電流値yの計算処理及びこの計算した電流値を用いた測定処理を、前記測定処理による電圧値が前記特定電圧値の許容範囲に含まれるまで繰り返すことを特徴とする測定電流値決定方法。

IPC (2件)：

G01R 27/02 , H01L 21/66

FI (2件)：

G01R27/02 R , H01L21/66 D

Fターム (14件)：

2G028AA02 , 2G028BC01 , 2G028BC10 , 2G028CG02 , 2G028DH13 , 2G028FK01 , 2G028HN11 , 2G028HN13 , 2G028MS02 , 4M106AA01 , 4M106AA10 , 4M106BA14 , 4M106CA10 , 4M106DH51

引用特許：

出願人引用 (1件)

半導体ウェーハ測定器
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-095472 出願人：国際電気アルファ株式会社

審査官引用 (2件)

特開平1-195371
誘電率測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-117782 出願人：セイコー電子工業株式会社

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