共振子、フィルタ、デュープレクサおよび電子装置

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：片山修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-291417
公開番号（公開出願番号）：特開2010-118951
出願日： 2008年11月13日
公開日（公表日）： 2010年05月27日
要約：

【課題】電気機械結合係数を向上させること。【解決手段】本発明は、基板10と、基板10上に形成された低比重下部電極12aと、低比重下部電極12a上に形成され低比重下部電極12aより比重の大きい高比重下部電極12bと、を備えた下部電極12と、高比重下部電極12b上に形成された圧電膜14と、圧電膜14上に形成され高比重下部電極12bより厚い高比重上部電極16bと、高比重上部電極16b上に形成され高比重上部電極16bより比重の小さい低比重上部電極16aと、を備えた上部電極16と、を具備し、下部電極12と上部電極16との質量は等しい共振子である。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

基板と、基板上に形成された低比重下部電極と、前記低比重下部電極上に形成され前記低比重下部電極より比重の大きい高比重下部電極と、を備えた下部電極と、前記高比重下部電極上に形成された圧電膜と、前記圧電膜上に形成され前記高比重下部電極より厚い高比重上部電極と、前記高比重上部電極上に形成され前記高比重上部電極より比重の小さい低比重上部電極と、を備えた上部電極と、を具備し、前記下部電極と前記上部電極との質量は等しいことを特徴とする共振子。

IPC (8件)：

H03H 9/17 , H03H 9/70 , H03H 9/54 , H03H 9/02 , H01L 41/09 , H01L 41/22 , H01L 41/18 , H01L 41/24

FI (10件)：

H03H9/17 F , H03H9/70 , H03H9/54 Z , H03H9/02 M , H01L41/08 C , H01L41/08 L , H01L41/08 K , H01L41/22 Z , H01L41/18 101Z , H01L41/22 A

Fターム (14件)：

5J108AA02 , 5J108AA07 , 5J108BB08 , 5J108CC04 , 5J108CC11 , 5J108EE03 , 5J108EE04 , 5J108EE07 , 5J108EE13 , 5J108FF03 , 5J108FF05 , 5J108KK02 , 5J108KK05 , 5J108KK07

引用特許：

出願人引用 (10件)

米国特許6291931号明細書
圧電共振子及びこの圧電共振子を用いた圧電部品
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-166449 出願人：株式会社村田製作所
圧電セラミック電子部品及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-303107 出願人：ティーディーケイ株式会社

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審査官引用 (9件)

圧電共振子及びこの圧電共振子を用いた圧電部品
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-166449 出願人：株式会社村田製作所
圧電セラミック電子部品及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-303107 出願人：ティーディーケイ株式会社
特開昭59-125114

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