特許
J-GLOBAL ID：200903068478113870

窒化アルミニウム薄膜およびそれを用いた圧電薄膜共振子

発明者：
山田 哲夫

山田 哲夫 について

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長尾 圭吾

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升井 英治

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出願人/特許権者：
宇部興産株式会社

宇部興産株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-297192
公開番号（公開出願番号）：特開2007-110281
出願日： 2005年10月12日
公開日（公表日）： 2007年04月26日
要約：
【課題】 弾性波の伝播速度が速いというAlN薄膜の特長を活かしつつ、電気機械結合係数が大きく、共振-反共振両方の音響的品質係数(Q値)、周波数温度特性に優れ、帯域幅、挿入損失などの特性面で従来に比べて著しく高性能な圧電薄膜共振子を提供する。【解決手段】 本発明の圧電薄膜共振子は、振動空間を有する半導体あるいは絶縁体からなる基板と、該基板の該振動空間に面する位置に、順に配置された下部電極、窒化アルミニウム薄膜および上部電極とを少なくとも有する圧電薄膜共振子において、前記窒化アルミニウム薄膜は、(0002)回折ピークのロッキング・カーブ半値幅が2.0 ゚以下であるc軸配向性結晶膜であり、前記下部電極および上部電極のうち少なくとも一方の電極は、ルテニウムを主成分とする層を含む厚さ150nm〜450nmの金属薄膜であり、ルテニウムの(0002)回折ピークのロッキング・カーブ半値幅が3.0 ゚以下である。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
半導体または絶縁体上に形成されたルテニウムを主成分とする層を含む金属薄膜に接して形成されたc軸配向を示す窒化アルミニウム薄膜であって、前記ルテニウムを主成分とする金属薄膜は、ルテニウムの(0002)回折ピークのロッキング・カーブ半値幅(FWHM)が3.0 ゚以下であり、前記窒化アルミニウム薄膜は、(0002)回折ピークのロッキング・カーブ半値幅(FWHM)が2.0 ゚以下であることを特徴とする窒化アルミニウム薄膜。
IPC (5件)：
H03H 9/17 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/083 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22
FI (7件)：
H03H9/17 F ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/08 S ,  H01L41/08 Q ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z
Fターム (13件)：
5J108AA04 ,  5J108AA07 ,  5J108AA09 ,  5J108CC04 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108FF03 ,  5J108FF04 ,  5J108FF05 ,  5J108HH02 ,  5J108HH05
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
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