対称型差分容量センサおよびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：本田淳 , 池上美穂
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-520025
公開番号（公開出願番号）：特表2010-536036
出願日： 2008年06月25日
公開日（公表日）： 2010年11月25日
要約：

対称型差分容量センサ(60)が、幾何学的中心である回転軸(70)の周りに旋回可能な可動要素(66)を備えている。前記要素(66)は区分(86、88)を備えている。区分(86、88)はそれぞれ、回転軸(70)から等しく離れて配置された止め具(94、96)を有する。また区分(86、88)はそれぞれ、異なる構成(104、108)のアパーチャ(102、106)を有する。アパーチャ(102、106)の構成(104、108)によって、区分(86、88)間で質量不均衡が生じる結果、要素(66)が、加速度に応答して回転軸(70)の周りで旋回する。またアパーチャ(102、106)によって、製造中のエッチ・リリースが促進され、要素(66)が回転するときの空気制振が減る。アパーチャ(102、106)の下に設けられた電極(78、80)内にアパーチャ(126、128)を形成して、可動要素(86)の二つの区分(86、88)間で容量を整合させ、同じ双方向駆動能力を実現する。

請求項（抜粋）：

微小電気機械システム(MEMS)センサを備える装置であって、前記センサは、基板と、前記基板に取り付けられた可動検知要素であって、前記可動検知要素は、前記可動検知要素の第1および第2の端部間の実質的に幾何学的中心の回転軸に対する動きに対して適合されるとともに、前記回転軸と前記第1の端部との間の第1の区分と、前記回転軸と前記第2の端部との間の第2の区分とを形成し、前記第1の区分は、第1の質量を有する前記第1の区分を形成するように前記可動検知要素を通って延びる第1のアパーチャを備え、前記第2の区分は、前記第1の質量より小さい第2の質量を有する前記第2の区分を形成するように前記可動検知要素を通って延びる第2のアパーチャを備える、前記可動検知要素と、前記基板上に位置し前記可動検知要素の前記第1および第2の区分に対向する少なくとも一つの電極とを備える、装置。

IPC (5件)：

G01P 15/125 , G01P 15/13 , H01L 29/84 , B81B 3/00 , B81C 1/00

FI (5件)：

G01P15/125 Z , G01P15/13 B , H01L29/84 Z , B81B3/00 , B81C1/00

Fターム (27件)：

3C081BA03 , 3C081BA44 , 3C081BA47 , 3C081BA48 , 3C081BA76 , 3C081CA03 , 3C081CA15 , 3C081CA29 , 3C081EA02 , 4M112AA02 , 4M112BA07 , 4M112CA21 , 4M112CA22 , 4M112CA23 , 4M112CA26 , 4M112CA31 , 4M112CA33 , 4M112DA02 , 4M112DA04 , 4M112DA06 , 4M112DA09 , 4M112EA03 , 4M112EA04 , 4M112EA06 , 4M112FA03 , 4M112FA20 , 4M112GA03

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開昭64-029775
半導体チツプ運動変換器及びその形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-040785 出願人：ザ・チヤールズ・スターク・ドレイパー・ラボラトリー・インコーポレイテツド
センサー要素
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-068467 出願人：フォードモーターカンパニー

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審査官引用 (5件)

特開昭64-029775
半導体チツプ運動変換器及びその形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-040785 出願人：ザ・チヤールズ・スターク・ドレイパー・ラボラトリー・インコーポレイテツド
センサー要素
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-068467 出願人：フォードモーターカンパニー

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