特許
J-GLOBAL ID：201003047746295343
対象物の変位測定装置及び方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
高橋 敬四郎
, 来山 幹雄
, 鵜飼 伸一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-322511
公開番号（公開出願番号）：特開2010-145231
出願日： 2008年12月18日
公開日（公表日）： 2010年07月01日
要約：
【課題】 カメラでマークの位置の変位の時刻暦を測定すると、測定期間中にカメラ自体が変位した場合に、測定結果に誤差が重畳される。【解決手段】 観測装置が、測定対象マーク及び基準マークを撮像し、画像データを取得する。観測装置で取得された画像データが制御装置に入力される。制御装置は、画像データから測定対象マーク及び基準マークの位置情報を算出する。さらに、測定対象マークの異なる時刻における位置情報から、測定対象マークの変位量を算出し、基準マークの異なる時刻における位置情報から、観測装置の変位量を算出し、観測装置の変位量に基づいて、測定対象マークの変位量を補正する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
測定対象マーク及び基準マークを撮像し、画像データを取得する観測装置と、
前記観測装置で取得された画像データが入力され、該画像データから前記測定対象マーク及び前記基準マークの位置情報を算出する制御装置と、
を有し、
前記制御装置は、
前記測定対象マークの異なる時刻における位置情報から、該測定対象マークの変位量を算出し、
前記基準マークの異なる時刻における位置情報から、前記観測装置の変位量を算出し、
前記観測装置の変位量に基づいて、前記測定対象マークの変位量を補正する変位測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B11/00 H
, G06T1/00 315
2F065AA04
, 2F065AA09
, 2F065AA17
, 2F065AA31
, 2F065AA65
, 2F065BB27
, 2F065FF04
, 2F065FF31
, 2F065FF61
, 2F065GG04
, 2F065JJ03
, 2F065PP12
, 2F065QQ17
, 2F065QQ29
, 2F065QQ33
, 2F065QQ34
, 5B057AA02
, 5B057DA20
, 5B057DB03
, 5B057DC05
, 5B057DC08
, 5B057DC09
, 5B057DC30
出願人引用 (1件)
審査官引用 (9件)
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